[实用新型]一种半导体水冷盘焊接固定装置

说明书

本实用新型涉及水冷盘加工技术领域，尤其涉及一种半导体水冷盘焊接固定装置，解决现有技术中存在自动化程度较低的缺点，包括工作台，所述工作台的顶部通过沉头螺栓固定有支架，所述支架上滑动安装有Z轴升降架，所述Z轴升降架上滑动安装有Y轴滑动座，所述Y轴滑动座的底部滑动安装有X轴滑动座，所述X轴滑动座的底部固定安装有焊接组件；所述Z轴升降架的两侧均通过六角螺钉固定有连接板，所述连接板的顶部通过螺丝连接有固定座，通过Z轴升降架、固定座、压杆以及压板等结构的设置，加工时，Z轴升降架向下移动后，可同时带着压杆向工件靠近，利用两个压板实现对工件自动固定，无需人工操作，自动化程度高。

技术领域

本实用新型涉及水冷盘加工技术领域，尤其涉及一种半导体水冷盘焊接固定装置。

背景技术

LED刻蚀机集成了高密度等离子源、快速响应的全自动匹配射频系统、精密的腔室温度控制系统、稳定的高精度压力控制系统、先进的中央喷嘴进气系统和独特的腔室表面处理等多项先进技术，用IC刻蚀工艺更为精密的设计要求来实现LED领域更高性能的刻蚀工艺，可以适应不同客户的不同规格图形片要求，获得优异的刻蚀工艺结果。

现有技术中在对应用于刻蚀机内部的水冷盘进行焊接加工时，一般都采用人工操作部件的固定方式，自动化程度较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在自动化程度较低的缺点，而提出的一种半导体水冷盘焊接固定装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体水冷盘焊接固定装置，包括工作台，所述工作台的顶部通过沉头螺栓固定有支架，所述支架上滑动安装有Z轴升降架，所述Z轴升降架上滑动安装有Y轴滑动座，所述Y轴滑动座的底部滑动安装有X轴滑动座，所述X轴滑动座的底部固定安装有焊接组件；

所述Z轴升降架的两侧均通过六角螺钉固定有连接板，所述连接板的顶部通过螺丝连接有固定座，所述固定座的内部滑动设置有压杆，所述压杆的底端焊接有压板。

优选的，所述工作台的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有对称布置的调节板。

优选的，所述滑槽的内部通过轴承转动安装有丝杠，两个所述调节板的内部均开设有安装孔，安装孔的内部通过螺丝固定安装有滚珠螺母，所述滚珠螺母装配在所述丝杠的外部。

优选的，所述固定座的内部开设有伸缩槽，所述压杆与伸缩槽滑动连接，所述伸缩槽的顶壁上固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端与所述压杆的顶端固定连接。

优选的，所述连接板的内部开设有贯穿孔，所述压杆穿过所述贯穿孔的内部。

优选的，所述支架、Z轴升降架以及Y轴滑动座上分别通过沉头螺钉固定安装有第一导轨、第二导轨以及第三导轨，所述Z轴升降架、Y轴滑动座以及X轴滑动座分别与第一导轨、第二导轨以及第三导轨滑动连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中通过Z轴升降架、固定座、压杆以及压板等结构的设置，加工时，Z轴升降架向下移动后，可同时带着压杆向工件靠近，利用两个压板实现对工件自动固定，无需人工操作，自动化程度高。

2、本实用新型中通过调节板的设置，针对不同尺寸的水冷盘，可调节两个调节板的间距，从而预先对水冷盘的位置进行限位，避免水冷盘在加工过程中偏移，提高了加工精度。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体水冷盘焊接固定装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种半导体水冷盘焊接固定装置的A处放大图；

图3为本实用新型提出的固定座和连接板的侧面剖视图。