[实用新型]一种带材真空等离子体镀膜装置

权利要求书

1.一种带材真空等离子体镀膜装置，包括真空镀膜室、设置在真空镀膜室内的收卷放卷装置，其特征在于收卷放卷装置包括设置在真空镀膜室内的两轴、移动小车、并排转动设置在移动小车上的两卷辊，两轴中的一个以上由动力带动转动，两轴的位于真空镀膜室内的端部设置有阴离合器构件，卷辊的对着阴离合器构件的端部设置有阳离合器构件，卷辊两端的轴上设置有轴承，对应卷辊的轴承的移动小车上设置有轴承支架。

2.根据权利要求1所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室内设置有将移动小车从镀膜室进口导向镀膜室内的轴的内导轨。

3.根据权利要求2所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室的进口外侧设置有小车支架，小车支架上设置有能与内导轨相接的外导轨。

4.根据权利要求3所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于小车支架上靠近镀膜室的进口处设置有由动力带动的齿轮，对应齿轮的移动小车的下面设置有与齿轮啮合的齿条。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于镀膜室内的两轴分别由相应动力带动转动。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室进口处设置有移动小车定位锁紧结构。

7.根据权利要求5所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室进口处设置有移动小车定位锁紧结构。

8.根据权利要求1或2或3或4或7所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于小车支架沿外部导轨在镀膜室与复卷机间来回移动。

9.根据权利要求1或2或3或4或7所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于轴承支架与移动小车间设置有绝缘结构，轴与真空镀膜室间设置有绝缘层，位于真空镀膜室后面的轴依序通过轴承座、绝缘构件设置在机架上，动力通过绝缘传动件带动轴，卷辊通过轴与阴极靶形成回路。

10.根据权利要求8所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于轴承支架与移动小车间设置有绝缘结构，轴与真空镀膜室间设置有绝缘层，位于真空镀膜室后面的轴依序通过轴承座、绝缘构件设置在机架上，动力通过绝缘传动件带动轴，卷辊通过轴与阴极靶形成回路。