[实用新型]真空吸附工作台、光学检测设备

权利要求书

1.一种真空吸附工作台，其特征在于，所述真空吸附工作台包括：

台板座(100)，在所述台板座(100)的顶面设置有螺纹孔；

真空平台板(200)，所述真空平台板(200)通过螺栓安装在所述台板座(100)的顶面，在所述真空平台板(200)的底面设置有与所述螺纹孔相对应的连接柱(220)，所述螺栓插入所述连接柱(220)中并与所述螺纹孔螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的真空吸附工作台，其特征在于：在所述真空平台板(200)的每一侧边均布置有至少三个的所述连接柱(220)。

3.根据权利要求1所述的真空吸附工作台，其特征在于：在所述真空平台板(200)的中部位置设置有至少一个的所述连接柱(220)。

4.根据权利要求1所述的真空吸附工作台，其特征在于：在所述真空平台板(200)的底面设置有凹槽(210)，在所述凹槽(210)内设置有纵横相间的隔条(230)，所述隔条(230)将所述凹槽(210)分隔出若干个方形的凹部(231)。

5.根据权利要求4所述的真空吸附工作台，其特征在于：所述连接柱(220)分布在所述凹槽(210)内，位于所述真空平台板(200)四角的每一所述凹部(231)内设置有一所述连接柱(220)，位于同一侧的两所述连接柱(220)之间设置有至少一所述连接柱(220)。

6.根据权利要求4所述的真空吸附工作台，其特征在于：所述真空吸附工作台还包括台面密封板(300)，所述台面密封板(300)密封连接在所述真空平台板(200)的底面，所述台面密封板(300)覆盖所述凹槽(210)的开口。

7.根据权利要求6所述的真空吸附工作台，其特征在于：在所述连接柱(220)的底面设置有凸台(221)，所述凸台(221)插设在所述台面密封板(300)上，所述螺栓插入所述连接柱(220)、所述凸台(221)中并与所述螺纹孔螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的真空吸附工作台，其特征在于：

在所述台面密封板(300)与所述连接柱(220)之间设置有第一密封件(240)，所述第一密封件(240)套设在所述凸台(221)上；

在所述台面密封板(300)与所述真空平台板(200)之间设置有第二密封件，所述第二密封件环绕所述凹槽(210)的开口。