[实用新型]PVD托盘结构

权利要求书

1.一种PVD托盘结构，其特征在于，包括托盘以及盖板组件，所述托盘的一表面上开设有容置待镀膜件的容置槽；所述盖板组件可拆卸地与所述托盘连接，并能够覆盖于所述托盘具有所述容置槽的表面上；

其中，所述盖板组件开设有贯穿的过料槽，在所述盖板组件覆盖于所述托盘上时，所述过料槽与所述容置槽对应设置。

2.根据权利要求1所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述托盘包括有效镀膜区，所述容置槽开设于所述有效镀膜区；所述盖板组件包括开槽区，所述过料槽开设于所述开槽区；在所述盖板组件覆盖于所述托盘上时，所述开槽区与所述有效镀膜区对应设置。

3.根据权利要求2所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述开槽区具有容置槽盖板，所述过料槽开设于所述容置槽盖板上，所述容置槽盖板能够覆盖于所述容置槽，且当所述容置槽盖板覆盖于所述容置槽时，所述过料槽与所述容置槽对应设置。

4.根据权利要求3所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述容置槽的数量为多个，且多个所述容置槽间隔地分布于所述有效镀膜区，所述容置槽盖板的数量与所述容置槽相对应，多个所述容置槽盖板能够一一对应地覆盖于所述容置槽上。

5.根据权利要求2所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述托盘还包括无效镀膜区，所述盖板组件还包括空白区，在所述盖板组件覆盖于所述托盘上时，所述空白区与所述无效镀膜区对应设置。

6.根据权利要求5所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述无效镀膜区包括第一区域及第二区域，所述空白区包括第一盖板单元及第二盖板单元，所述第一盖板单元能够覆盖于所述第一区域，所述第二盖板单元能够覆盖于所述第二区域。

7.根据权利要求6所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述第一盖板单元包括多个第一盖板，所述第二盖板单元包括多个第二盖板，多个所述第一盖板依次覆盖于所述第一区域；多个所述第二盖板依次覆盖于所述第二区域。

8.根据权利要求1所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述盖板组件与所述托盘之间通过卡接、螺纹连接、粘接中任意一种方式相连接。

9.根据权利要求1所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述盖板组件远离所述托盘的一侧面上采用喷砂处理。

10.根据权利要求1所述的PVD托盘结构，其特征在于，所述盖板组件的厚度不大于5mm。