[实用新型]一种用于PCB蚀刻中ORP值的在线控制装置有效

专利信息
申请号: 202120778365.2 申请日: 2021-04-15
公开(公告)号: CN214544955U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 周煜;章晓冬;黄建东;李晓红 申请(专利权)人: 上海天承化学有限公司
主分类号: H05K3/06 分类号: H05K3/06
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 201515 上海市金山区金山*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 pcb 蚀刻 orp 在线 控制 装置
【权利要求书】:

1.一种用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述PCB蚀刻中ORP值的在线控制装置包括第一泵、蚀刻装置、第二泵、第三泵和积液装置;

所述蚀刻装置中设置有喷淋单元;

所述第一泵的进液口与所述蚀刻装置的第一出液口相连接;

所述第一泵的出液口与所述喷淋单元的进液口相连接;

所述蚀刻装置的第二出液口和所述第二泵相连接;

所述蚀刻装置和所述第二泵之间设置有第一调控介质入口;

所述第二泵和所述积液装置的进液口相连接;

所述积液装置的出液口和通过所述第三泵与所述蚀刻装置的进液口相连接;

所述积液装置与所述第三泵之间设置有第二调控介质入口;

所述积液装置设置有ORP检测仪。

2.如权利要求1所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述蚀刻装置和所述第二泵之间的管路上依次设置有第一阀和第一流量计。

3.如权利要求2所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述第一流量计和所述第二泵之间设置有第一调控介质入口。

4.如权利要求1或3所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述第一调控介质入口依次设置有第二阀和第二流量计,沿流体流动方向。

5.如权利要求1所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述积液装置和所述第三泵之间依次设置有第三阀和第三流量计。

6.如权利要求5所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述第三流量计与所述第三泵之间设置有第二调控介质入口。

7.如权利要求1或6所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述第二调控介质入口依次设置有第四阀和第四流量计,沿流体流动方向。

8.如权利要求1所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述第一泵为传输泵。

9.如权利要求1所述的用于PCB蚀刻中ORP值的控制装置,其特征在于,所述第二泵包括溶气泵;

所述第三泵包括溶气泵。

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