[实用新型]一种基板夹持件及包含其的镀膜装置

说明书

本实用新型提供基板夹持件，包括：支撑板，所述支撑板的左右两端对称设置有多个沿第一方向间隔设置的开槽，每个开槽沿第二方向延伸形成，并且每个开槽的开口端上设置有相对设置的两个橡胶块，两个橡胶块之间的间隔小于被夹持的基板的厚度，第一方向与第二方向垂直。本实用新型还提供一种包含其的镀膜装置。本实用新型能够保证微型基板在镀膜过程中不掉落并且不会被损坏，并且一次镀膜量大。

技术领域

本实用新型涉及镀膜工艺领域，尤其涉及一种基板夹持件及包含其的镀膜装置。

背景技术

在对基板进行镀膜时，一般都需要对基板进行固定，以执行相应的镀膜操作。基板镀膜一般包括单面镀膜和整个周面镀膜，通常需要根据基板的尺寸选择相应的固定结构来实现相应的镀膜操作。随着电子设备的精细化，一些基板的尺寸变得越来越小，例如，只有5mmx5mmx1mm或者3mmx5mmx1mm，需要对其整个侧周面即周围的窄面进行镀膜。对于这类基板，需要保证基板在镀膜过程中不能掉落并且不能被损坏，并且一次镀膜量要尽量大，目前的固定结构不能满足此要求。

因此，亟待需要提供一种针对此类基板的固定结构和镀膜方案。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种基板夹持件及包含其的镀膜装置，至少部分解决现有技术中存在的问题。

本实用新型一实施例提供一种基板夹持件，包括：支撑板，所述支撑板的两端对称设置有多个沿第一方向间隔设置的开槽，每个开槽沿第二方向延伸形成，并且每个开槽的开口端上设置有相对设置的两个橡胶块，两个橡胶块之间的间隔小于被夹持的基板的厚度，第一方向与第二方向垂直。

本实用新型另一实施例提供一种镀膜装置，包括：真空室和旋转驱动装置，所述真空室内设置有蒸发源和至少一个旋转架，所述旋转驱动装置设置在所述真空室的底部并与所述旋转架连接，所述旋转架沿周向方向设置有多个前述的基板夹持件。

本实用新型实施例提供的基板夹持件及包含其的镀膜装置，至少具有以下优点：

(1)夹持件通过橡胶块夹紧基板，不会对基板上下表面造成损伤。

(2)橡胶块既能通过弹性和摩擦力夹紧基板，使基板安装牢固不易脱落，又能保证夹紧力适中，不会把基板内部压坏。

(3)夹持件结构简单，成本较低，只有三种零件组成，支撑板只用一块钢板加工而成，旋转轴结构也比较简单，橡胶块采用市面上能买到的标准产品，不需要定制。

(4)每个夹持件都能安装很多基板，然后通过行星盘系统安装多组夹持件，每个夹持件同时完成公转和自转，保证基板的4个窄面都有镀膜机会。

(5)夹持件结构紧凑，安装基板数量较大，同时结构简单，加工成本较低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1和图2为本实用新型实施例提供的基板夹持件的结构示意图；

图3为图1中的A区域的放大图；

图4为图3的剖视图；

图5为图2中的B区域的放大图；

图6为本实用新型一实施例提供的镀膜装置的主视图；

图7和图8分别为本实用新型一实施例提供的镀膜装置的立体图；

图9和图10为本实用新型另一实施例提供的镀膜装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。