[实用新型]一种双向进出管式PECVD设备

说明书

本实用新型公开了一种双向进出管式PECVD设备，包括放舟室、预热室、PECVD反应室、冷却室和取舟室，所述放舟室左侧设置有预热室，所述预热室左侧设置有PECVD反应室，所述PECVD反应室左侧设置有冷却室，所述冷却室左侧设置有取舟室，当石墨舟通过预热室送入PECVD反应室中进行反应，由于反应室中发生的离子反应会有剧烈噪音、辐射、有害气体等，通过防辐射层和隔音层可以有效的隔绝一定的辐射和噪音，通过缓冲垫和弹簧可以有效的对可能发生的震动起到缓冲作用，该机构可以有效防止的PECVD设备内部离子在反应时会有剧烈噪音、辐射、有害气体等，工作人员在工作时会由于这些可能会照成一定的伤害，同时剧烈的噪音可能会导致设置震动，导致反应效果不理想的问题。

技术领域

本实用新型属于PECVD设备相关技术领域，具体涉及一种双向进出管式 PECVD设备。

背景技术

PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即样品放置的托盘)产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。

公开号为CN211170884U公开了一种双向进出管式PECVD设备，包括至少一个设备进口和一个设备出口，自设备进口朝向设备出口依次设置放舟部、预热部、PECVD工艺反应炉管、冷却部和取舟部，放舟部将石墨舟外部的石墨舟抓取并收取到放舟部，放舟部将石墨舟放至预热部进行预热，预热完成后石墨舟移动到PECVD工艺反应炉管进行反应，结束后再到冷却部冷却，冷却结束后通过取舟部将石墨舟取出设备。

由于PECVD设备内部离子在反应时会有剧烈噪音、辐射、有害气体等，工作人员在工作时会由于这些可能会照成一定的伤害，同时剧烈的噪音可能会导致设置震动，导致反应效果不理想。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双向进出管式PECVD设备，以解决上述背景技术中提出的由于PECVD设备内部离子在反应时会有剧烈噪音、辐射、有害气体等，工作人员在工作时会由于这些可能会照成一定的伤害，同时剧烈的噪音可能会导致设置震动，导致反应效果不理想问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种双向进出管式 PECVD设备，包括放舟室、预热室、PECVD反应室、冷却室和取舟室，所述放舟室左侧设置有预热室，所述预热室左侧设置有PECVD反应室，所述PECVD 反应室左侧设置有冷却室，所述冷却室左侧设置有取舟室，所述PECVD反应室内部设置防辐射隔热机构。

优选的，所述防辐射隔热机构包括反应室外壳、隔热层二、缓冲垫一、弹簧、缓冲垫二、防辐射层和隔音层，所述反应室外壳内部设置有隔热层二，所述隔热层二内部设置缓冲垫一，所述缓冲垫一左侧设置有弹簧，所述弹簧左侧设置有缓冲垫二，所述缓冲垫二设置在隔音层上，所述隔音层内部设置有防辐射层。

优选的，所述反应室外壳内部通过焊接固定连接有隔热层二，所述隔热层二内部通过焊接固定连接缓冲垫一，所述缓冲垫一左侧通过焊接固定连接有弹簧，所述弹簧左侧通过焊接固定连接有缓冲垫二，所述缓冲垫二通过焊接固定连接在隔音层上，所述隔音层内部通过焊接固定连接有防辐射层。

优选的，所述放舟室左侧通过焊接固定连接有预热室，所述预热室左侧通过焊接固定连接有PECVD反应室，所述PECVD反应室左侧通过焊接固定连接有冷却室，所述冷却室左侧通过焊接固定连接有取舟室。

优选的，所述放舟室、预热室、PECVD反应室、冷却室和取舟室下方通过焊接固定连接有底座，所述放舟室、预热室、PECVD反应室、冷却室和取舟室之间通过焊接固定连接有隔热层一。

优选的，所述底座下方通过焊接固定连接支柱，所述支柱下方通过焊接固定连接软垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：