[实用新型]静电放电缓解装置及流体回路

说明书

本实用新型提供静电放电缓解装置及一种流体回路。在一或多个实施例中，所述静电放电缓解装置是用以将静电荷从导电聚合物管道转移到导电聚合物操作组件的导电插入件。

技术领域

本实用新型涉及可用于(举例来说)流体处置系统中的静电放电(ESD)缓解装置，且更具体来说涉及供在受益于静电放电缓解的超纯流体处置系统中使用的静电放电(ESD)缓解装置。

背景技术

静电放电(ESD)对于半导体工业中及其它技术应用中的流体处置系统来说是重要的技术问题。流体系统中的流体与各种操作组件(例如，管道或管路、阀、配件、过滤器等)的表面之间的摩擦接触可导致静态电荷的产生及积聚。电荷产生的程度取决于各种因素，包含但不限于组件及流体的本质、流体速度、流体粘度、流体的电导率、通往接地的路径、液体中的扰动及切变、流体中存在空气及表面积。在NFPA 77的“Recommended Practice onStatic Electricity(关于静电的推荐做法)”(第77-1页至第77-67页，2014年)中论述且报告这些性质及用以缓解这些性质所导致的非所要静态电荷的方式。

进一步地，当流体流动穿过系统时，可在称作流式传输电荷的现象中向下游载送电荷，其中电荷可在电荷起源的地方以外积聚。在各个工艺步骤处，充足电荷积累可导致在管道或管壁、组件表面处或甚至在衬底或晶片上发生ESD。

在某些应用中，半导体衬底或晶片对静态电荷高度敏感且此ESD可导致对衬底或晶片的损坏或破坏。举例来说，由于ESD不受控制，因此衬底上的电路可能被破坏且光敏化合物可在定期曝光之前被活化。另外，所积聚静电荷可从流体处置系统内排放到外部环境，从而可能损坏流体处置系统中的组件(例如，管道或管路、配件、组件、容器、过滤器等)，此可导致泄漏、系统中的流体溢出及组件性能降低。在这些情景中，当在受损的流体处置系统中使用易燃、有毒及/或腐蚀性流体时此放电可导致潜在火灾或爆炸。

通常，电气系统薄弱环节是接地的完整性。在一些流体处置系统中，为了减少静电荷积聚，流体处置系统中的特定金属或导电组件经接地以缓解系统中的静电荷积聚，因为静电荷不断地从所述金属或导电组件分散到接地。在一些系统中，由导电聚合物构成的导电线缆扎带或“束线带”有时用于将组件连接到接地。此类聚合缆线扎带易受潜变、移动、破坏、环境效应或敏感度、劣化、磨损等影响，且在实践中具有许多缺点。

将期望改进供在超纯流体处置系统中使用的ESD缓解与接地装置，此赋予经改进组件可靠性、稳定性、性能及可能损坏ESD事件的减少。

实用新型内容

本实用新型的一或多个实施例涉及静电放电(ESD)缓解装置。特定来说，实施例针对于一种静电放电缓解装置，其包括导电插入件以将静电荷从导电聚合物管道转移到导电聚合物操作组件以促进流体回路的接地。

本实用新型的一些实施例包括用以连接流体回路中的两个或多于两个导电管道分段的管道连接器，所述管道连接器包括：导电聚合物连接器主体，其具有两个或多于两个附接部分；两个或多于两个附接配件；导电聚合物插入件，其电接触所述导电连接器主体；及导电托架，其经配置以与所述连接器主体附接并介接以将所述连接器主体电连接到接地。

在所述管道连接器的各个实施例中，所述管道连接器包含笔直连接器、T形连接器或肘形连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述管道连接器是具有流体通路以连接两个管道分段的笔直连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述管道连接器是具有流体通路以连接两个管道分段的肘形连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述管道连接器是具有流体通路以连接三个管道分段的T形连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述连接器主体附接部分包含螺纹区域及接头区域以接纳管道分段。在所述管道连接器的特定实施例中，所述附接配件包含压紧螺母以将管道分段附接到所述管道连接器的所述螺纹及接头区域。

在本实用新型的一些实施例中包括用于具有至少一个入口及至少一个出口的预定流体流动通路的流体回路，所述流体回路包含：