[实用新型]一种溅射薄膜高温压力传感器有效
| 申请号： | 202120784571.4 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN215114938U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 吴浩;周泉 | 申请（专利权）人： | 上海申狮物联网科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 刘爽 |
| 地址： | 200000 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 薄膜 高温 压力传感器 | ||
1.一种溅射薄膜高温压力传感器，包括传感器本体(1)以及传感器本体(1)的外侧壁紧固套接的防护套(2)，其特征在于，所述防护套(2)的底端外侧壁螺纹连接有连接套(3)，所述传感器本体(1)的外侧安装有与所述连接套(3)的底端侧壁固定的密封套(4)，所述连接套(3)的下方安装有与所述密封套(4)的一侧侧壁紧固套接的密封垫(5)，所述防护套(2)的一侧内壁安装有挤压环(6)，所述连接套(3)的底端侧壁固定有四个呈对称设置的L形杆(7)，所述L形杆(7)的一侧侧壁与所述密封套(4)的一侧侧壁固定，所述L形杆(7)的内部滑动贯穿有移动杆(8)，所述连接套(3)的一侧侧壁设置有四个呈对称设置的固定组件(9)。
2.根据权利要求1所述的一种溅射薄膜高温压力传感器，其特征在于，所述固定组件(9)包括与连接套(3)的顶端侧壁固定的四个呈对称设置的固定套(90)，所述固定套(90)的内部滑动套接有滑动杆(91)，所述滑动杆(91)远离固定套(90)的一侧侧壁固定有固定板(92)，所述滑动杆(91)靠近固定套(90)的一侧侧壁固定有挤压块(93)，所述固定套(90)的一侧侧壁与固定板(92)的一侧侧壁之间固定有伸缩弹簧(94)，所述连接套(3)的内部滑动贯穿有与所述固定板(92)相配合的挤压杆(95)，所述挤压杆(95)的一侧侧壁与移动杆(8)的一侧侧壁之间铰接有连接杆(96)。
3.根据权利要求2所述的一种溅射薄膜高温压力传感器，其特征在于，所述挤压杆(95)的底端与所述密封垫(5)的一侧内壁滑动连接，所述挤压杆(95)的顶端截面为斜面，所述固定板(92)的底端与所述挤压杆(95)的接触面为相适配的斜面。
4.根据权利要求2所述的一种溅射薄膜高温压力传感器，其特征在于，所述挤压块(93)的一端截面为斜面，所述挤压块(93)与所述挤压环(6)的接触面为相适配的斜面，所述挤压环(6)的截面呈圆形。
5.根据权利要求2所述的一种溅射薄膜高温压力传感器，其特征在于，所述传感器本体(1)的截面为圆形，所述固定板(92)与所述传感器本体(1)的接触面为相适配的斜面，所述挤压杆(95)的顶端与所述固定板(92)的底端位于同一水平面上。
6.根据权利要求1所述的一种溅射薄膜高温压力传感器，其特征在于，所述连接套(3)的截面呈U形结构，所述防护套(2)的截面大小与所述传感器本体(1)的截面大小相适配。
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