[实用新型]一种真空连续投料装置有效

专利信息
申请号: 202120795564.4 申请日: 2021-04-19
公开(公告)号: CN214732893U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 叶宏伦;蔡斯元;蔡期开;洪天河;钟其龙;刘崇志 申请(专利权)人: 芯璨半导体科技(山东)有限公司
主分类号: B65G65/48 分类号: B65G65/48;B65D90/58
代理公司: 泉州市文华专利代理有限公司 35205 代理人: 陈雪莹
地址: 250000 山东省济南*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 连续 投料 装置
【权利要求书】:

1.一种真空连续投料装置,其特征在于:与晶锭生长装置连接,其包括料槽、料盖以及真空泵系统;所述料槽呈斗状,料槽的上端开口为进料口,料槽的下端开口为出料孔,所述出料孔依次连接出料阀、真空开关阀和晶锭生长装置的进料孔;所述料盖封堵进料口;所述真空泵系统通过管道连通料槽内部。

2.根据权利要求1所述的一种真空连续投料装置,其特征在于:所述出料阀的通径为A,所述真空开关阀的通径为B,则A<B,出料阀的流道中心轴线与真空开关阀的流道中心轴线重合。

3.根据权利要求1所述的一种真空连续投料装置,其特征在于:所述料槽的槽壁倾斜度为C,则C=45-60°。

4.根据权利要求1所述的一种真空连续投料装置,其特征在于:所述料盖和料槽通过法兰连接,设置在料槽的法兰盘上设有一圈凹槽,该凹槽内设有密封垫圈。

5.根据权利要求1所述的一种真空连续投料装置,其特征在于:所述料盖或料槽的侧壁上端设有一体成型并延伸至外部的气管,所述真空泵系统通过管道连通气管。

6.根据权利要求1所述的一种真空连续投料装置,其特征在于:所述真空开关阀为真空挡板阀。

7.根据权利要求1所述的一种真空连续投料装置,其特征在于:所述出料阀包括阀体、中心体和旋转轴,阀体内设有圆柱形的空腔,阀体上设有连通空腔且相对设置的进口和出口;所述中心体与空腔紧密配合并在内腔中转动,中心体上设有贯穿孔,旋转中心体可通过贯穿孔贯通阀体上进口和出口;所述旋转轴与中心体连接并延伸至阀体外部。

8.根据权利要求7所述的一种真空连续投料装置,其特征在于:所述旋转轴置于阀体外部的一端设有操作柄。

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