[实用新型]实验室半导体PR化学液体冷冻装置

说明书

本实用新型公开了实验室半导体PR化学液体冷冻装置，包括冷柜，所述冷柜内部设置有若干个可抽拉的滑动拉盘，所述滑动拉盘上设置有分隔网，所述分隔网的一侧与所述滑动拉盘上的转动台转动连接，装有光刻胶的若干瓶装容器放置在所述滑动拉盘上，每个瓶装容器对应位于所述分隔网的一个网眼内。所述分隔网由相互垂直的两个支撑杆以及若干分隔杆组成，两个支撑杆相互连接呈L状；其中一个支撑杆的两端与所述转动台转动连接；若干所述分隔杆分为相互垂直的两组，两组分隔杆的端部分别和两个支撑杆滑动连接，移动所述分隔杆可以调节所述分隔网的网眼大小。本实用新型能够对装有光刻胶的容器进行分隔保存，防止光刻胶因碰撞而泄露。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶保存装置领域，尤其涉及实验室半导体PR化学液体冷冻装置。

背景技术

光刻胶(Photoresist简称PR)又称光致抗蚀剂，主要应用于光刻机相关工艺。当光刻胶不使用时，需要在-20℃的条件下进行冷冻，以便长期保存。然而，传统的光刻胶冷冻保存装置无法对装有光刻胶的容器进行分隔，装有光刻胶的容器之间容易相互碰撞，有可能导致光刻胶泄露。针对上述问题，对现有的光刻胶冷冻保存装置进行改进。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供实验室半导体PR化学液体冷冻装置，能够对装有光刻胶的容器进行分隔保存，防止光刻胶因碰撞而泄露。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型的实验室半导体PR化学液体冷冻装置，包括冷柜，所述冷柜内部设置有若干个可抽拉的滑动拉盘，所述滑动拉盘上设置有分隔网，所述分隔网的一侧与所述滑动拉盘上的转动台转动连接，装有光刻胶的若干瓶装容器放置在所述滑动拉盘上，每个瓶装容器对应位于所述分隔网的一个网眼内。

进一步地，所述分隔网由相互垂直的两个支撑杆以及若干分隔杆组成，两个支撑杆相互连接呈L状；其中一个支撑杆的两端与所述转动台转动连接；若干所述分隔杆分为相互垂直的两组，两组分隔杆的端部分别和两个支撑杆滑动连接，移动所述分隔杆以调节所述分隔网的网眼大小。

进一步地，所述滑动拉盘内设置有中空夹层，所述滑动拉盘上设置有若干竖向贯通的镂空孔，所述滑动拉盘上还设置有相互垂直的两个滑动槽；所述滑动槽与所述中空夹层相连通，所述滑动槽内滑动设置有倒T字状的定位柱，所述定位柱的中部螺接有固定所述定位柱的紧固螺母，所述定位柱的下端设置有定位杆，所述定位杆水平延伸至所述中空夹层内；所述分隔杆靠近所述支撑杆的一端设置有插接块，所述定位柱的上端设置有插接孔；所述插接块与所述插接孔插接配合时，所述分隔杆与对应的定位柱上的定位杆相互平行且位于同一竖直平面内。

进一步地，所述支撑杆内设置有横向贯通槽，所述分隔杆与所述横向贯通槽滑动连接，所述分隔杆上的滑动导块与横向贯通槽内的滑动导槽相互配合；所述支撑杆上还设置有与所述横向贯通槽相连通的上孔口，所述上孔口为水平长条状，所述上孔口内竖向滑动设置有长条状的夹板，所述夹板的两端通过紧固螺栓与所述支撑杆螺接紧固，所述夹板的下端与所述横向贯通槽的槽底配合夹紧固定所述分隔杆。

进一步地，分成两组的分隔杆分别为分隔横杆和分隔纵杆；若干所述分隔横杆的杆体中部均设置有水平镂空的交合槽，所述分隔纵杆的杆体对应穿过若干交合槽。

进一步地，所述分隔杆为弹性塑胶材质。

进一步地，若干所述镂空孔交错设置。

进一步地，所述滑动拉盘的四周设置有挡板。

有益效果：本实用新型的实验室半导体PR化学液体冷冻装置，其有益效果如下：

1)在冷柜内设置有若干滑动拉盘，滑动拉盘上设置分隔网，装有光刻胶的瓶装容器分别放置在分隔网的网眼内，可以有效防止容器之间相互碰撞；

2)分隔网由若干分隔杆组成，分隔杆可以移动并改变分隔网的网眼大小，以适应不同规格的容器，泛用性好；