[实用新型]冷等离子真空反应室真空腔用放气阀

说明书

本实用新型涉及放气阀装置领域，尤其涉及冷等离子真空反应室真空腔用放气阀。包括放气阀本体，放气阀本体的阀体内设有活塞杆，活塞杆的端部的密封盘底面上设有密封圈；所述阀体底面上设有通孔，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧，阀体侧面设有外接管；通过在活塞杆设置密封盘和与密封盘配套使用的密封圈，以增强通孔处的密封效果。

技术领域

本实用新型涉及放气阀装置领域，尤其涉及冷等离子真空反应室真空腔用放气阀。

背景技术

放气阀是向真空腔体内导入气体，以破坏真空的阀门。针对超高真空系统，一般情况下导入干燥的氮气，以避免真空腔体内壁大量吸附水蒸气。

目前在真空腔中使用的放气阀由于其密封性能不佳，在使用时往往容易出现漏气等情况，使用起来十分不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供提高密封效果的。

本实用新型的技术方案如下：

冷等离子真空反应室真空腔用放气阀，包括放气阀本体，放气阀本体的阀体内设有活塞杆，活塞杆的端部的密封盘底面上设有密封圈；所述阀体底面上设有通孔，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧，阀体侧面设有外接管。

所述密封圈底面上设有第一凹槽，第一凹槽内均布有若干第一密封凸条。

所述密封槽与第一凹槽对应；所述密封槽内均布有若干第二密封凸条。

所述第一密封凸条和第二密封凸条截面均呈三角形，两两第二密封凸条之间形成三角形凹槽，该三角形凹槽与第一密封凸条对应。

所述第一密封凸条与第二密封凸条均为硅胶材质。

本实用新型的有益效果是：通过在活塞杆设置密封盘和与密封盘配套使用的密封圈，以增强通孔处的密封效果。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。

其中：图1为本实用新型结构示意图；

附图中，1为放气阀本体，2为阀体，3为活塞杆，4为密封盘，5为密封圈，6为通孔，7为密封槽，8为复位弹簧，9为外接管，10为第一凹槽，11为第一密封凸条，12为第二密封凸条，13为三角形凹槽。

具体实施方式

参见图1所示，冷等离子真空反应室真空腔用放气阀，包括放气阀本体1，放气阀本体的阀体2内设有活塞杆3，活塞杆的端部的密封盘4底面上设有密封圈5；所述阀体底面上设有通孔6，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽7；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧8，阀体侧面设有外接管9。通过在活塞杆设置密封盘和与密封盘配套使用的密封圈，以增强通孔处的密封效果。

所述密封圈底面上设有第一凹槽10，第一凹槽内均布有若干第一密封凸条11。通过设置第一密封凸条，增强密封效果。

所述密封槽与第一凹槽对应；所述密封槽内均布有若干第二密封凸条12。通过设置第二密封凸条，增强密封效果。

所述第一密封凸条和第二密封凸条截面均呈三角形，两两第二密封凸条之间形成三角形凹槽13，该三角形凹槽与第一密封凸条对应。第一、第二密封凸条配合使用，将三角结构的第一密封凸条插入三角形凹槽内，能够大大提高密封效果。

所述第一密封凸条与第二密封凸条均为硅胶材质。采用硅胶材料使用寿命长。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质上对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本实用新型的保护范围之内。