[实用新型]螺杆真空泵真空供气装置

权利要求书

1.螺杆真空泵真空供气装置，其特征在于：包括反应釜(1)、工艺真空抽气口(2)、真空前置一级处理器(3)、进气电动阀(4)、真空前置二级过滤器(5)、旋风冷却处理器(6)、冷凝水回收系统(7)、冷凝水排放口(8)、螺杆真空泵(9)、排气接口(10)和控制电箱(11)，所述进气电动阀(4)一侧连接有真空前置二级过滤器(5)，所述真空前置二级过滤器(5)一侧连接有旋风冷却处理器(6)，所述旋风冷却处理器(6)底侧连接有冷凝水回收系统(7)，所述冷凝水回收系统(7)底侧连接有冷凝水排放口(8)，所述旋风冷却处理器(6)一侧连接有螺杆真空泵(9)，所述真空螺杆真空泵(9)一侧连接有排气接口(10)。

2.根据权利要求1所述的螺杆真空泵真空供气装置，其特征在于：所述反应釜(1)上侧连接有工艺真空抽气口(2)，所述工艺真空抽气口(2)一侧连接有真空前置一级处理器(3)，所述真空前置一级处理器(3)一侧连接有进气电动阀(4)。

3.根据权利要求2所述的螺杆真空泵真空供气装置，其特征在于：所述反应釜(1)与工艺真空抽气口(2)、工艺真空抽气口(2)与真空前置一级处理器(3)、真空前置一级处理器(3)和进气电动阀(4)、进气电动阀(4)与真空前置二级过滤器(5)、真空前置二级过滤器(5)与旋风冷却处理器(6)、旋风冷却处理器(6)与冷凝水回收系统(7)、冷凝水回收系统(7)和冷凝水排放口(8)、旋风冷却处理器(6)与螺杆真空泵(9)、螺杆真空泵(9)与排气接口(10)之间均通过管道相互连接。

4.根据权利要求3所述的螺杆真空泵真空供气装置，其特征在于：所述进气电动阀(4)和螺杆真空泵(9)通过控制线路与控制电箱(11)相互连接。