[实用新型]一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置有效

专利信息
申请号: 202120816378.4 申请日: 2021-04-21
公开(公告)号: CN214862903U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 何珂;戈烨铭;汤晓春 申请(专利权)人: 江阴润玛电子材料股份有限公司
主分类号: B01F7/20 分类号: B01F7/20;B01F15/06;B01F15/02;B01F15/00;B01D29/33
代理公司: 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 代理人: 张琪
地址: 214423 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 tft 高纯 蚀刻 高效 生产 装置
【说明书】:

本实用新型涉及一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置,属于蚀刻液相关技术领域。包括储料桶,所述储料桶顶部设置有传输管,所述传输管上设置有与储料桶相对应的抽取泵,所述传输管另一端连接混合桶,所述储料桶包括桶体,所述桶体上设置有加料口,所述桶体顶部设置有固定块,所述固定块中间位置设置有抽料管,所述抽料管顶部连接传输管,所述抽料管的表面均匀的设置有多个抽料口,每个抽料口内均设置有滤网,所述固定块底部连接伸缩罩的一端,所述伸缩罩的另一端连接悬浮环,所述伸缩罩和悬浮环均套设在抽料管上。本实用新型可以有效的增大抽料管的抽取面积提高其抽取效率,且提高了该装置生产工作的效率。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻液相关技术领域,特别涉及一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置。

背景技术

TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶体管的缩写。蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体,从理论上讲,凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板,但权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,蚀刻系数、溶铜容量、溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等方面。现有的TFT用高纯铝蚀刻液生产装置技术存在以下问题:现有的TFT用高纯铝蚀刻液生产装置在生产制造的过程中,生产工作的效率低而且生产出的蚀刻液蚀刻效率较低。

专利号为CN211098792U的中国实用新型专利公开了一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,包括底架板和储料桶,所述底架板的顶部中间左侧位置处设置有储料桶,所述储料桶的顶部位置处设置有传输管,所述传输管的顶部位置处与储料桶相对应的位置处设置有抽取泵,所述传输管的前端中间位置处设置有固定架,上述专利在现有的设备的基础上加装了新型的混合桶,在混合桶内设置有多个导热搅拌棍,导热搅拌棍可以在搅拌的过程中通过工作电机进行加热工作并且可以有效的转动,可以有效的辅助将蚀刻液的生产原料混合在一起,同时可以对蚀刻液原料进行加热工作,有效的提高了蚀刻液的混合生产效率,同时可以有效的提高生产出的蚀刻液的蚀刻工作效率,但是抽料管只能抽取储料桶底部的原料,抽取原料效率过低。

因此,发明一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置迫在眉睫。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述背景技术中提出的问题,提供一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置,可以有效的增大抽料管的抽取面积提高其抽取效率,且提高了该装置生产工作的效率。

本实用新型的目的是这样实现的:一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置,包括储料桶,所述储料桶顶部设置有传输管,所述传输管上设置有与储料桶相对应的抽取泵,所述传输管另一端连接混合桶,所述储料桶包括桶体,所述桶体上设置有加料口,所述桶体顶部设置有固定块,所述固定块中间位置设置有抽料管,所述抽料管顶部连接传输管,所述抽料管的表面均匀的设置有多个抽料口,每个抽料口内均设置有滤网,所述固定块底部连接伸缩罩的一端,所述伸缩罩的另一端连接悬浮环,所述伸缩罩和悬浮环均套设在抽料管上,所述悬浮环的内径与抽料管的外径相适配,所述伸缩罩的内径大于抽料管的外径,所述伸缩罩的长度与抽料管的长度一致;

进一步,所述混合桶顶部设置有电机,所述电机通过传动轴连接混合桶内部的稳定轴,所述稳定轴边侧位置设置有导热搅拌棍,所述混合桶侧壁偏下位置处设置有出料口;

进一步,所述出料口处设置有滤网,所述导热搅拌棍外侧设置有刮板,所述刮板与混合桶的内壁相贴合;

进一步,所述储料桶共设置有四个,且四个储料桶大小和形状均相同;

进一步,所述抽取泵共设置有四个,且四个抽取泵大小和形状均相同,四个抽取泵分别设置在传输管上且与四个储料桶相对应的位置处;

进一步,所述导热搅拌棍设置有多个,且每个导热搅拌棍大小和形状均相同,每个导热搅拌棍均匀的设置在稳定轴的边侧。

相比于现有技术,本实用新型的优点在于:

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