[实用新型]一种测量LDI内层对位精度的装置

权利要求书

1.一种测量LDI内层对位精度的装置，包括基座，其特征在于，所述基座上设有XYZ移动台、由该XYZ移动台控制移动的吸盘台面和下对准组件，所述吸盘台面的一端设有能够移动的标定靶点，所述基座上还设有支架，所述支架的横梁上设有第一相机和能够水平移动的第二相机，所述吸盘台面的边缘间隔设有多个靶点光源；

将内层板放置在所述吸盘台面上，内层板的第一面朝上，激光直接对内层板的第一面图形曝光的同时、所述吸盘台面上的靶点光源对内层板的第二面进行打靶；

内层板的第二面图形曝光时、内层板的第二面朝上放置在所述吸盘台面上，所述第一相机、第二相机和下对准组件对内层板进行对位后、再由所述激光直接对内层板的第二面图形曝光。

2.根据权利要求1所述的测量LDI内层对位精度的装置，其特征在于，所述下对准组件包括下CCD相机、透反棱镜、远心镜头和反射棱镜，所述下CCD相机与所述远心镜头之间设置所述透反棱镜，所述反射棱镜设置在所述远心镜头上。

3.根据权利要求2所述的测量LDI内层对位精度的装置，其特征在于，所述透反棱镜包括有反射面和透射面，所述透反棱镜倾斜45度置于一立方体斜镜座上，所述透反棱镜的表面镀有透反膜，所述透反膜对λ450nm光波透射，对λ450nm的光波反射，这里的λ为光波。

4.根据权利要求2所述的测量LDI内层对位精度的装置，其特征在于，所述吸盘台面的一端设有两个对称设置的标定靶点安装板，所述标定靶点安装板通过直线滑轨和滑块连接所述标定靶点，所述标定靶点安装板的端部设有移动气缸，所述移动气缸能够推动所述标定靶点沿着所述直线滑轨移动，所述标定靶点移动寻找与所述下对准组件的同轴位置。

5.根据权利要求4所述的测量LDI内层对位精度的装置，其特征在于，所述激光波段均为紫外波段，靶点光源所用的照明光源为红光、绿光或红外光。

6.根据权利要求4所述的测量LDI内层对位精度的装置，其特征在于，所述XYZ移动台包括X轴移动模组、Y轴移动模组和Z轴移动模组，所述Y轴移动模组由X轴移动模组控制X向移动，Z轴移动模组由Y轴移动模组控制Y向移动，Z轴移动模组控制整个吸盘台面的升降；

所述X轴移动模组、Y轴移动模组和Z轴移动模组均包括由伺服电机、传动丝杆和滑轨组件，X轴移动模组通过滑轨组件与Y轴移动模组连接，Y轴移动模组通过滑轨组件与Z轴移动模组连接。