[实用新型]一种高致密合金靶材热处理装置

说明书

本实用新型公开了一种高致密合金靶材热处理装置，包括支撑架、发热板和压力泵，所述支撑架顶部固定安装反应槽，所述反应槽内部放置有铁砂，所述支撑架通过控制部件固定连接底板，所述底板位于反应槽底部，且与反应槽底部合上封闭，所述反应槽下方放置有收集槽，所述收集槽底部通过收集管固定连通压力泵一端，所述压力泵另一端通过软管连通加料管一端，所述加料管另一端固定连接分料板，所述加料管底部固定连接固定座，所述固定座可拆卸连接支撑板顶部，通过加热铁砂作为热处理的媒介，有利于合金靶材接收热量更加平稳，使热处理的后的微观晶粒更加均匀，有利于提高热处理的品质。

技术领域

本实用新型涉及热处理设备技术领域，具体为一种高致密合金靶材热处理装置。

背景技术

靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。如Ic制造商.近段时间致力于低电阻率铜布线的开发，预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜，这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。另外，近年来平面显示器(FPD)大幅度取代原以阴极射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场.亦将大幅增加ITO靶材的技术与市场需求。此外在存储技术方面。高密度、大容量硬盘。

热处理是金属靶材加工过程中不可或缺的工艺，热处理与塑性变形加工紧密结合，主要为了实现材料的再结晶，使得金属靶材的组织均匀。对金属靶材施加不同的热处理温度、保温时间和加热方式，可以获得具有不同金属材料组织结构的金属靶材，根据授权公告号为CN 209010574 U的中国实用新型，公布了一种密封性好的靶材热处理装置，通过上下两支加热管对固定的靶材进行加热处理，但是由于加热管与需要被热处理的靶材之间热量传输存在热量接收点，靶材升温和接收热量不够平稳，容易导致在靶材热处理后的晶粒不均匀，影响靶材的品质。

为此我们提出一种高致密合金靶材热处理装置用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高致密合金靶材热处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高致密合金靶材热处理装置，包括支撑架、发热板和压力泵，所述支撑架顶部固定安装反应槽，所述反应槽内部放置有铁砂，所述支撑架通过控制部件固定连接底板，所述底板位于反应槽底部，且与反应槽底部合上封闭，所述反应槽下方放置有收集槽，所述收集槽底部通过收集管固定连通压力泵一端，所述压力泵另一端通过软管连通加料管一端，所述加料管另一端固定连接分料板，所述加料管底部固定连接固定座，所述固定座可拆卸连接支撑板顶部。

优选的，所述反应槽包括侧框，所述侧框内侧壁固定安装发热板，所述发热板固定安装有若干间距相等的固定条，所述固定条之间空隙形成卡槽，且卡槽内侧设有卡板。

优选的，所述分料板形状为三角状，且内侧开设有若干通孔，所述通孔尾端的间距对应固定条间距设置。

优选的，所述控制部件包括电动推杆，所述电动推杆一端通过第一铰座铰接连接支撑架内侧壁，所述电动推杆另一端通过第二铰座铰接连接底板，所述底板与支撑架顶部内侧铰接连接。

优选的，所述固定座两侧设置有长条状限位凸出，所述支撑板顶部内侧设置有凹槽，与固定座两侧的限位凸出配合设置。

优选的，所述收集槽底壁中部向下凸出，且中部位置与收集管一端固定连通，所述收集管固定镶嵌在收集槽底部内侧。

优选的，所述底板和控制部件共有两组，对称设置。

优选的，所述分料板远离加料管一侧向下倾斜，位于反应槽纵向方向的中心线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过加热铁砂作为热处理的媒介，有利于合金靶材接收热量更加平稳，使热处理的后的微观晶粒更加均匀，有利于提高热处理的品质；