[实用新型]分子泵涡轮叶片

说明书

本实用新型提供一种分子泵涡轮叶片，属于分子泵技术领域，包括：内环、叶齿和外环，所述叶齿具有多个，多个所述叶齿的根部均匀连接在所述内环的外壁上，多个所述叶齿的尖部均匀连接在所述外环的内壁上；所述内环、多个所述叶齿和所述外环为一体成型结构；本实用新型的分子泵涡轮叶片，将叶齿、内环和外环设计为一体结构，避免了后期的焊接工序，节约了涡轮叶片的制造时间，从而可降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵涡轮叶片。

背景技术

分子泵一方面朝着智能化方向发展，另一方面对泵体自身的结构优化、成本降低也是重要的环节。分子泵的涡轮叶片的外环连接有隔离环，目前分子泵的涡轮叶片和隔离环分别为两个独立的零件，需要独立生产加工，然后采用焊接连接为一体。其中，涡轮叶片和隔离环均是采用数控加工中心的机械进行加工制造的。其制造成本较为昂贵，消耗工时较长。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵涡轮叶片的制作成本较高，消耗工时较长的缺陷，从而提供一种分子泵涡轮叶片。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种分子泵涡轮叶片，包括：内环、叶齿和外环，所述叶齿具有多个，多个所述叶齿的根部均匀连接在所述内环的外壁上，多个所述叶齿的尖部均匀连接在所述外环的内壁上；

所述内环、多个所述叶齿和所述外环为一体成型结构。

可选地，所述内环、多个所述叶齿和所述外环为通过铸造一体成型。

可选地，所述外环的宽度大于所述叶齿和所述内环的宽度。

可选地，所述外环上设有用于定位安装的定位台阶。

可选地，所述叶齿沿所述内环至所述外环的方向为变角度设计。

可选地，所述叶齿垂直于所述内环的切线。

可选地，所述叶齿具有前缘和后缘，所述前缘的厚度小于所述后缘的厚度。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的分子泵涡轮叶片，将叶齿、内环和外环设计为一体结构，避免了后期的焊接工序，节约了涡轮叶片的制造时间，从而可降低生产成本。

2.本实用新型提供的分子泵涡轮叶片，采用铸造的方式使叶齿、内环和外环一体成型，相比于现有的机加工生产，其制作成本更低，从而进一步的降低了涡轮叶片的生产成本。

3.本实用新型提供的分子泵涡轮叶片，在外环上设计有定位台阶，通过该定位台阶用于便于涡轮叶片的整体安装，将涡轮叶片安装到设备上后，可防止其在径向方向的窜动。

4.本实用新型提供的分子泵涡轮叶片，由于叶齿是从内环朝向外环辐射出去的，因此设计叶齿为扭曲的变角度，可使叶齿之间的间隙分布均匀，以保证气体流通的顺畅性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例的分子泵涡轮叶片的一种实施方式的俯视图。

图2为图1中沿A-A线的剖视图。

图3为本实用新型的实施例的分子泵涡轮叶片的制造示意图。

图4为本实用新型的实施例的分子泵涡轮叶片的叶齿横截面的示意图。

附图标记说明：