[实用新型]一种晶体生长炉加热电源控制系统有效
申请号: | 202120864298.6 | 申请日: | 2021-04-25 |
公开(公告)号: | CN215163312U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 王大庆 | 申请(专利权)人: | 成都新源汇博光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;G05D23/30 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 曹洋苛 |
地址: | 610207 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 加热 电源 控制系统 | ||
1.一种晶体生长炉加热电源控制系统,其特征在于:包括发热炉、电源柜、电压转换部、电流转换部和欧陆表;所述电源柜通过电源线与发热炉连接,所述电源柜上设置有控制柜,所述欧陆表的输出端与控制柜连接;所述电压转换部并联接入电源线中,所述电流转换部串联接入电源线中;所述欧陆表分别与电压转换部和电流转换部的输出端连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉加热电源控制系统,其特征在于:所述电流转换部包括电流互感器、电流硅管和输出线;所述电流互感器串联入电源线中,所述电流硅管与电流互感器串联,所述输出线分别与电流硅管和欧陆表连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉加热电源控制系统,其特征在于:所述电流硅管两侧设置有第一电流表,所述电流互感器的接入端上设置有第二电流表,所述第一电流表设置在电源柜上,所述第二电流表设置在电源柜的控制柜上。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉加热电源控制系统,其特征在于:所述电压转换部包括电压互感器、电压硅管和输出线;所述电压互感器和电压硅串联设置,所述电压互感器包括第一电压绕组、第二电压绕组;所述第一电压绕组分别并入到电源线的正负极,所述第二电压绕组与第一电压绕组相配设置,第二电压绕组与电压硅管连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶体生长炉加热电源控制系统,其特征在于:所述电压转换部、电流转换部的输出线分别与电压硅管和欧陆表连接。
6.根据权利要求5所述的一种晶体生长炉加热电源控制系统,其特征在于:所述电压互感器和电压硅管的回路,以及电流互感器和电流硅管中分别设置有第一分压电阻和第二分压电阻。
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