[实用新型]检测装置

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

检测基体，包括承载体以及设置于所述承载体上的检测模块，所述承载体具有沿第一方向延伸的第一导向部件；

探针组件，多个所述探针组件设置于所述检测基体，每个所述探针组件包括多个探针模块，所述探针模块具有多个探针，每个所述探针模块设置于所述第一导向部件并在所述第一方向相对所述承载体具有移动自由度；

转接模块，每个所述探针组件的各所述探针模块通过同一所述转接模块与所述检测模块电连接。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一导向部件的数量为多个，多个所述第一导向部件沿第二方向间隔分布，所述第二方向与所述第一方向相交，各所述第一导向部件均设置有所述探针模块。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，同一所述探针组件的多个所述探针模块划分为两组模块组，每组所述模块组包括至少一个所述探针模块，两组所述模块组设置于不同的所述第一导向部件且所述探针模块面向彼此的一侧设置；

优选地，在所述第一方向上，其中一组所述模块组的所述探针模块各所述探针的正投影与另一组所述模块组的所述探针模块各所述探针的正投影部分交叠。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，各所述探针模块所包括的所述探针的数量相同；或者，至少两个所述探针模块所包括的所述探针的数量的差值大于0。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，同一所述探针模块的相邻两个所述探针之间的间距为25um～40um；

和/或，每个所述探针模块所包括的所述探针的直径尺寸为15um～20um。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的检测装置，其特征在于，所述第一导向部件包括沿所述第一方向延伸的第一引导槽，所述探针模块还具有第一引导块，每个所述探针模块的多个所述探针设置于所述第一引导块，各所述第一引导块至少部分伸入所述第一引导槽并与所述第一引导槽滑动配合；

或者，所述第一导向部件包括沿所述第一方向延伸的第一引导轨，所述探针模块还具有第一引导块，每个所述探针模块的多个所述探针设置于所述第一引导块，各所述第一引导块上设置有与所述第一引导轨的形状相匹配并与所述第一引导轨滑动配合的滑槽。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述承载体还具有沿所述第一方向延伸的第二导向部件，各所述转接模块设置于所述第二导向部件并在所述第一方向相对所述承载体具有移动自由度。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述第二导向部件包括沿所述第一方向延伸的第二引导槽，所述转接模块具有第二引导块以及设置于所述第二引导块的转接端子，所述转接端子电连接于所述探针组件与所述检测模块之间，各所述第二引导块至少部分伸入所述第二引导槽并与所述第二引导槽滑动配合；

或者，所述第二导向部件包括沿所述第一方向延伸的第二引导轨，所述转接模块具有第二引导块以及设置于所述第二引导块的转接端子，所述转接端子电连接于所述探针组件与所述检测模块之间，各所述第二引导块上设置有与所述第二引导轨的形状相匹配并与所述第二引导轨滑动配合的滑槽。

9.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括锁定部件；

所述探针模块与所述第一导向部件之间设置有所述锁定部件，以锁定或者解锁所述探针模块与所述第一导向部件之间的相对位置；和/或，所述转接模块与所述第二导向部件之间设置有所述锁定部件，以锁定或者解锁所述探针模块与所述第二导向部件之间的相对位置。

10.根据权利要求1至5任意一项所述的检测装置，其特征在于，所述检测模块与所述承载体可拆卸连接。