[实用新型]一种可区分晶面的碳化硅晶体

权利要求书

1.一种可区分晶面的碳化硅晶体，所述晶体的上或下表面为碳面（1），相对另一面为硅面（2）；碳面（1）和硅面（2）之间为晶体本体，其特征在于，所述晶体本体的侧面设置有刻制的标识结构（3），所述标识结构（3）的刻制深度为10-500μm，标识结构（3）用于区分碳面（1）和硅面（2）。

2.根据权利要求1所述的一种可区分晶面的碳化硅晶体，其特征在于，所述的标识结构（3）的数量≥1；所述标识结构（3）的一端与碳面（1）相邻，另一端与硅面（2）相邻，且标识结构（3）的两端形状不同用于区分碳面（1）和硅面（2）。

3.根据权利要求1所述的一种可区分晶面的碳化硅晶体，其特征在于，所述的标识结构（3）由第一标识（4）和第二标识（5）组成；第一标识（4）和第二标识（5）的形状不同，第一标识（4）和第二标识（5）位于晶片同一直径的同侧或两侧用于区分碳面（1）和硅面（2）。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种可区分晶面的碳化硅晶体，其特征在于，所述的晶体为晶锭或晶片。

5.根据权利要求4所述的一种可区分晶面的碳化硅晶体，其特征在于，所述晶锭或晶片为圆柱形。