[实用新型]一种弧光放电离子源装置

权利要求书

1.一种弧光放电离子源装置，其特征在于，包括放电阳极、放电阴极、交流电源模块、推斥电极和检测装置，所述的放电阳极和所述的放电阴极同纵轴相对间隔设置，所述的放电阴极的中间设置有进样通道，所述的放电阳极和所述的放电阴极之间的间隔区域构成放电区域，所述的推斥电极和所述的检测装置的进样口同水平轴相对设置在所述的放电区域的两侧，所述的交流电源模块的正极与所述的放电阳极连接，所述的交流电源模块的负极与所述的放电阴极连接，所述的交流电源模块与所述的放电阳极之间连接有电感器。

2.根据权利要求1所述的一种弧光放电离子源装置，其特征在于，还包括用于固定所述的放电阳极和所述的放电阴极的装置平台，所述的装置平台的一侧开设有用于容纳电离后废液的废液槽。

3.根据权利要求2所述的一种弧光放电离子源装置，其特征在于，所述的放电阳极采用金属铂针，所述的金属铂针外包裹有用于保护的PEEK管；所述的放电阴极采用中空的石墨管，所述的进样通道采用毛细管，所述的毛细管贯穿设置在所述的石墨管的中部，所述的毛细管的底端连接进样装置，顶端为进样口。

4.根据权利要求3所述的一种弧光放电离子源装置，其特征在于，所述的石墨管固定在所述的装置平台的上方，所述的废液槽的底部设置有可开闭的废液输出孔。

5.根据权利要求1所述的一种弧光放电离子源装置，其特征在于，所述的交流电源模块提供的交流电频率在10kHz-10MHz范围内。

6.根据权利要求1所述的一种弧光放电离子源装置，其特征在于，所述的电感器集成在所述的交流电源模块的内部或者所述的电感器外置，与所述的交流电源模块的正极相连。

7.根据权利要求1所述的一种弧光放电离子源装置，其特征在于，所述的检测装置采用质谱仪或者光谱仪。

8.根据权利要求4所述的一种弧光放电离子源装置，其特征在于，所述的废液槽位于所述的装置平台的一侧，所述的装置平台的另一侧的上方设置有用于防止废液流出的挡板，所述的装置平台的上面板设置成朝着废液槽的方向向下倾斜，倾斜度不大于5°。