[实用新型]测量拉晶炉熔硅液面高度的结构及拉晶炉

权利要求书

1.一种测量拉晶炉熔硅液面高度的结构，其特征在于,包括固定在导流筒(3)下部的辅助板(1)、安装在拉晶炉上的线性光源(2)和摄像装置，所述辅助板(1)接近导流筒(3)中心的内侧面为平面，并且所述辅助板(1)的内侧面垂直于熔硅液面(5)，所述辅助板(1)的内侧面的下边缘为水平线段，所述线性光源(2)发出的线性光的一部分能够照射在所述辅助板(1)的内侧面上，另一部分能够照射在所述熔硅液面(5)上，照射在所述辅助板(1)的内侧面上的线性光与内侧面的下边缘之间的夹角为θ，夹角θ大于0度小于90度，照射在所述熔硅液面(5)上的线性光能够反射到所述辅助板(1)的内侧面上，所述摄像装置能够拍摄所述辅助板(1)的内侧面上的光线。

2.根据权利要求1所述的测量拉晶炉熔硅液面高度的结构，其特征在于，所述辅助板(1)为平面薄板。

3.根据权利要求2所述的测量拉晶炉熔硅液面高度的结构，其特征在于，所述辅助板(1)采用石英片或石墨片制作。

4.根据权利要求1所述的测量拉晶炉熔硅液面高度的结构，其特征在于，所述辅助板(1)的上端固定有横板(6)，所述横板(6)垂直于所述辅助板(1)，所述辅助板(1)通过横板(6)固定在所述导流筒(3)上。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的测量拉晶炉熔硅液面高度的结构，其特征在于，所述夹角θ大于30度小于60度。

6.根据权利要求1所述的测量拉晶炉熔硅液面高度的结构，其特征在于，所述线性光源(2)为线性激光源。

7.根据权利要求6所述的测量拉晶炉熔硅液面高度的结构，其特征在于，所述线性光源(2)安装在拉晶炉的炉盖上。

8.一种拉晶炉，包括炉室、炉盖、坩埚(4)和导流筒(3)，其特征在于，所述导流筒(3)的下部固定安装有辅助板(1)，在所述炉盖上安装有线性光源(2)和摄像装置，所述辅助板(1)接近导流筒(3)中心的内侧面为平面，并且所述辅助板(1)的内侧面垂直于熔硅液面(5)，所述辅助板(1)的内侧面的下边缘为水平线段，所述线性光源(2)发出的线性光的一部分能够照射在所述辅助板(1)的内侧面上，另一部分能够照射在所述熔硅液面(5)上，照射在所述辅助板(1)的内侧面上的线性光与内侧面的下边缘之间的夹角为θ，夹角θ大于0度小于90度，照射在所述熔硅液面(5)上的线性光能够反射到所述辅助板(1)的内侧面上，所述摄像装置能够拍摄所述辅助板(1)的内侧面上的光线。

9.根据权利要求8所述的拉晶炉，其特征在于，所述夹角θ大于30度小于60度。