[实用新型]一种托盘和测量装置有效

专利信息
申请号: 202120886913.3 申请日: 2021-04-27
公开(公告)号: CN214848561U 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 何俊青;刘洋;陈国良 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67;G01N19/04
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 刘恋;张颖玲
地址: 430074 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 托盘 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种托盘,其特征在于,包括:

主承载件;以及

辅承载件,至少部分围绕所述主承载件,且连接在所述主承载件的外侧,所述辅承载件配置有至少一个第一透光部,所述第一透光部配置为沿托盘轴向透光。

2.根据权利要求1所述的托盘,其特征在于,所述第一透光部沿所述托盘轴向贯通所述辅承载件的两侧。

3.根据权利要求1或2所述的托盘,其特征在于,所述辅承载件包括第一支撑件,所述第一支撑件与所述主承载件连接,所述第一支撑件沿所述主承载件的周向两侧均设置有所述第一透光部。

4.根据权利要求3所述的托盘,其特征在于,所述第一支撑件的数量为多个,多个所述第一支撑件沿所述主承载件的周向均匀布置。

5.根据权利要求3所述的托盘,其特征在于,所述辅承载件还包括与所述第一支撑件交叉和连接的第二支撑件,所述第二支撑件至少部分围绕所有所述第一透光部。

6.根据权利要求5所述的托盘,其特征在于,沿所述托盘轴向,所述第二支撑件的投影区域的形状呈环形;

沿所述托盘轴向,所述主承载件的投影区域的形状呈环形。

7.根据权利要求6所述的托盘,其特征在于,

沿所述托盘轴向,所述第二支撑件的投影区域的形状呈圆环形;

沿所述托盘轴向,所述主承载件的投影区域的形状呈圆环形;

所述主承载件的投影区域与所述第二支撑件的投影区域同心;

所述第一支撑件沿着所述主承载件的径向延伸。

8.根据权利要求5所述的托盘,其特征在于,所述辅承载件还包括与所述第一支撑件交叉和连接的第三支撑件,所述第三支撑件至少部分围绕所述主承载件,所述第二支撑件至少部分围绕所述第三支撑件。

9.根据权利要求1或2所述的托盘,其特征在于,所述托盘具有吸附腔,所述主承载件具有承载面,所述承载面包括吸附口,所述吸附口与所述吸附腔连通。

10.根据权利要求9所述的托盘,其特征在于,所述吸附腔包括子吸附腔,所述子吸附腔为凹槽,且位于所述主承载件上,所述子吸附腔与所述吸附口连通。

11.根据权利要求10所述的托盘,其特征在于,

所述辅承载件包括至少一个第一支撑件;

所述第一支撑件包括贯穿所述第一支撑件的连通孔;以及

所述第一支撑件与所述主承载件连接,所述连通孔经由所述凹槽与所述吸附口连通。

12.根据权利要求11所述的托盘,其特征在于,所述辅承载件还包括与所述第一支撑件交叉和连接的第二支撑件;

所述第二支撑件整体至少部分围绕所有所述第一透光部,且整体为空心柱环结构;

所述空心柱环结构包括负压接口以及位于所述空心柱环结构的与所述第一支撑件连接的表面上的开口;以及

所述第一支撑件的连通孔经由所述开口与所述负压接口连通。

13.根据权利要求12所述的托盘,其特征在于,沿所述托盘轴向,所述凹槽的投影区域的形状呈圆环形;

所述吸附口的投影区域的形状呈圆环形;

所述负压接口位于所述空心柱环结构的外侧表面上。

14.根据权利要求12所述的托盘,其特征在于,所述至少一个第一支撑件包括多个第一支撑件;

所述多个第一支撑件包括分别贯穿所述多个第一支撑件的多个所述连通孔,多个所述连通孔沿所述主承载件的周向均匀设置。

15.根据权利要求1或2所述的托盘,其特征在于,所述主承载件配置有第二透光部,所述第二透光部配置为沿所述托盘轴向透光;

所述第二透光部沿所述托盘轴向贯通所述主承载件的两侧。

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