[实用新型]一种检测设备光源调节组件

说明书

本实用新型提供本实用新型提供一种检测设备光源调节组件，通过电阻调节光源来标准化所有设备检测条件；包括相机1，光源调节器2，基座3，固定座7；所述基座3上固定被检测产品；所述光源调节器2对称设置在所述基座3两端的上方，光源区域覆盖位于基座3上的被检测产品；所述相机1设置在所述基座3的正上方，用于对被检测产品进行拍照；所述固定座7与所述光源调节器2配合，用于固定所述光源调节器2；本实用新型的有益效果：确保LIS设备所有光源使用统一基准，降低人为调整带来的误差和影响；避免设备因为检测程序的不同或者人为修改后导致出现品质问题和错杀/误杀情况减少记录时间。

技术领域

本实用新型主要涉及半导体芯片外观检测领域，尤其涉及一种检测设备光源调节组件。

背景技术

目前，LIS设备外观检测良率是代表收益和品质的重要数据，并且世界范围内各半导体都在提升后工序良率来确保品质和成本来提高竞争力。针对产品外观初期良率目前处于中等水平，设备硬件问题在检测产品时出现错杀误杀的情况，导致LIS初期良率不高，并且品质问题多发。另外一个主要问题，LIS工程在出现产品低良率，从发现到前工程设备问题点改善TAT周期时间较长，问题设备在持续生产中，所以LIS设备需要开发一套低收益自动反馈系统来配合前工程设备进行改善。

目前由于LIS设备和设备间检测条件的差异导致检测结果各不相同，设备间的良率和品质无法得到保证，设备之间差异较大，所以需要开发一套装置来使所有设备的检测条件统一化来减少设备间的差异。另外在设备软件方面，需要开发一套从Lot结束后自动收集数据系统来监测前工程的品质。第一时间反馈给前工程进行改善。

实用新型内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种检测设备光源调节组件，通过电阻调节光源来标准化所有设备检测条件。

本实用新型提供一种检测设备光源调节组件，包括相机1，光源调节器2，基座3，固定座7；

所述基座3上固定被检测产品；所述光源调节器2对称设置在所述基座3两端的上方，光源区域覆盖位于基座3上的被检测产品；所述相机1设置在所述基座3的正上方，用于对被检测产品进行拍照；所述固定座7与所述光源调节器2配合，用于固定所述光源调节器2。

优选的，还包括原始盒4，客户盒5和LIM盒6；所述原始盒4与客户盒5电性连接；所述客户盒5分别和所述LIM和6及光源调节器2电性连接。

优选的，所述光源调节器2还设置有固定板21；所述光源调节器2通过固定板21固定在所述固定座7上。

优选的，所述光源调节器2还设置有VR计量器24和连接头25；所述VR计量器24设置有多个，均布设置在所述光源调节器2上；所述连接头25设置在所述光源调节器2的一端，用于固定在所述固定板21上。

优选的，所述光源调节器2包括顶部光源VR盒22和底部光源VR盒23；所述顶部光源VR盒22和底部光源VR盒23并列设置。

优选的，所述顶部光源VR盒22设置有四排VR计量器24。

优选的，所述底部光源VR盒23设置有一排VR计量器24。

本实用新型的有益效果：1、设备硬件调整不需要按照实际产品进行，主要按照光源调节电阻进行调节来确保LIS设备所有光源使用统一基准，大大降低人为调整带来的误差和影响。2、所有硬件调整完的程序可以使用同一程序进行检测，构建FTP服务器来管理。避免设备因为检测程序的不同或者人为修改后导致出现品质问题和错杀/误杀情况。3、前工程低收益产品之前通过人为Sheet Manual进行登记，浪费人力和时间，通过自动上传系统的开发可以大大减少记录时间，通过系统来将低收益产品前工程设备进行共享。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为底部光源调节器结构示意图；