[实用新型]一种光纤生产中多种气体的混合装置有效
申请号: | 202120902449.2 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN216062764U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 于振兴;张红光;邵惟岐;王新罡;祝陆;姜建新 | 申请(专利权)人: | 威海威信光纤科技有限公司;宏安集团有限公司;威海长和光导科技有限公司 |
主分类号: | B01F25/10 | 分类号: | B01F25/10;B01F23/10 |
代理公司: | 北京中南长风知识产权代理事务所(普通合伙) 11674 | 代理人: | 郑海 |
地址: | 264200 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光纤 生产 多种 气体 混合 装置 | ||
1.一种光纤生产中多种气体的混合装置,其特征在于,包括安装板(1)以及分别设置在安装板(1)侧壁上的环境氘气浓度检测仪(2)、在线氘气检测仪(3)、涡旋式气体混合罐(4)、氮气MFC(7)、氘气MFC(8);
所述氮气MFC(7)的底端侧壁固定连接有第一连通气管(10),所述第一连通气管(10)的末端与涡旋式气体混合罐(4)的顶端侧壁固定连接,所述氘气MFC(8)的底端侧壁固定连接有第二连通气管(11),所述第二连通气管(11)的末端固定连接在涡旋式气体混合罐(4)的外侧壁上,所述第一连通气管(10)与第二连通气管(11)的外侧壁上均设置有气动隔膜阀(9),所述气动隔膜阀(9)的侧壁上固定连接有压缩空气管路(5),所述涡旋式气体混合罐(4)的底端侧壁固定连接有第三连通气管(12),所述第三连通气管(12)的外侧壁上固定连接有第四连通气管(13),所述在线氘气检测仪(3)与第四连通气管(13)的末端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种光纤生产中多种气体的混合装置,其特征在于,所述氮气MFC(7)与氘气MFC(8)的顶端侧壁均固定连接有进气管。
3.根据权利要求1所述的一种光纤生产中多种气体的混合装置,其特征在于,所述第四连通气管(13)的外侧壁上固定连接有出气管(15)。
4.根据权利要求1所述的一种光纤生产中多种气体的混合装置,其特征在于,所述第四连通气管(13)的外侧壁上设置有吹扫管路(6)。
5.根据权利要求1所述的一种光纤生产中多种气体的混合装置,其特征在于,所述环境氘气浓度检测仪(2)与在线氘气检测仪(3)均通过螺栓固定连接在安装板(1)的侧壁上。
6.根据权利要求1所述的一种光纤生产中多种气体的混合装置,其特征在于,所述第四连通气管(13)的外侧壁上设置有校准口(14)。
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