[实用新型]一种光伏用的碳碳复合材料坩埚

权利要求书

1.一种光伏用的碳碳复合材料坩埚，包括炉体(1)，所述炉体(1)内设有输气管(2)、石英坩埚主体(3)和设于石英坩埚主体(3)外的感应加热器，其特征在于，所述石英坩埚主体(3)外套设有碳碳复合材料坩埚主体(4)，所述输气管(2)的外侧壁顶部通过上部阻气环(5)与炉体(1)的内侧壁固定连接，所述输气管(2)的底端通过石英坩埚主体(3)的顶部开口延伸至石英坩埚主体(3)内，所述石英坩埚主体(3)的外侧壁顶部与炉体(1)的内侧壁之间连接有下部阻气环(6)，所述碳碳复合材料坩埚主体(4)的顶部开口外侧向远离石英坩埚主体(3)的方向延伸形成连接部(17)，所述下部阻气环(6)的底部固定连接有碳碳复合材料螺栓(18)，所述连接部(17)上设有与碳碳复合材料螺栓(18)配合的通孔，所述连接部(17)上的通孔套设于碳碳复合材料螺栓(18)上并通过螺母将碳碳复合材料坩埚主体(4)固定于下部阻气环(6)上，所述炉体(1)的侧壁位于上部阻气环(5)和下部阻气环(6)之间设有上部排气口(7)，所述炉体(1)的侧壁位于下部阻气环(6)的下方设有下部排气口(8)，所述上部排气口(7)连接有上部排气管(9)，所述上部排气管(9)上设有排气泵(10)，所述下部排气口(8)连接有下部排气管(11)，所述下部排气管(11)经三通管(12)连接上部排气管(9)，所述三通位于上部排气管(9)上排气泵(10)远离炉体(1)的一侧，所述炉体(1)的底壁与炉体(1)的侧壁活动连接，所述炉体(1)的底壁开设有进气孔(13)。

2.根据权利要求1所述光伏用的碳碳复合材料坩埚，其特征在于，所述石英坩埚主体(3)的外侧壁顶部设有与下部阻气环(6)的顶面相接触的石英支撑部(16)。

3.根据权利要求2所述光伏用的碳碳复合材料坩埚，其特征在于，所述炉体(1)的内侧壁设有安装部(14)，所述安装部(14)的底部固定连接有安装螺栓(15)，所述下部阻气环(6)上开设有与安装螺栓(15)对应的配合的通孔，所述下部阻气环(6)上的通孔套设于安装螺栓(15)上并通过螺母将下部阻气环(6)固定于安装部(14)上。

4.根据权利要求3所述光伏用的碳碳复合材料坩埚，其特征在于，所述下部阻气环(6)内设有支撑龙骨(19)，所述下部阻气环(6)上的通孔开设于与支撑龙骨(19)对应处，所述碳碳复合材料螺栓(18)与支撑龙骨(19)固定连接。

5.根据权利要求4所述光伏用的碳碳复合材料坩埚，其特征在于，所述碳碳复合材料坩埚主体(4)的底面同心设置有多圈波浪纹，所述波浪纹以碳碳复合材料坩埚主体(4)的底部轴心为圆心设置。

6.根据权利要求5所述光伏用的碳碳复合材料坩埚，其特征在于，所述碳碳复合材料坩埚主体(4)包括衬体(20)和覆盖于衬体(20)表面的碳碳复合材料层(21)，所述衬体(20)的侧壁和底壁上均开设有透气孔(22)，且衬体(20)侧壁的透气孔(22)密度小于衬体(20)底壁的透气孔(22)密度。