[实用新型]一种硅板提篮

说明书

本实用新型属于半导体元件制造用具技术领域，尤其涉及一种硅板提篮。其包括：立板、限位杆及提手，两立板相对间隔设置，限位杆连接在两立板之间，限位杆上间隔开设有限位槽，提手两端分别连接两立板。本实用新型用于解决硅板搬运不方便的问题。利用两立板及连接在立板之间的限位杆形成放置硅板的框架结构，间隔设置在限位杆上的限位槽分隔放置各硅板，保证硅板之间互不接触，且方便每块硅板的取出，连接在立板上的提手方便对整体大重量的硅板及提篮的提起搬运。

技术领域

本实用新型属于半导体元件制造用具技术领域，尤其涉及一种硅板提篮。

背景技术

在扩散清洗过程中，对于5寸硅片，通常是利用一种材质为多晶硅的硅板来作为扩散5寸硅片的硅源管的两侧挡板，其厚度尺寸通常为9mm左右，其直径尺寸通常在150mm左右,而此硅板通常较大较厚而且较脆。

目前，正常处理硅材料的工装是特氟龙片架，注塑而成的，适用的厚度最大到2.0mm，对于此硅板没有较好工装适配，导致搬运扩散清洗此硅板时较为麻烦。

实用新型内容

本申请实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种硅板提篮，用于解决硅板搬运不方便的问题。

本申请实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种硅板提篮，其包括：立板，两所述立板相对间隔设置；

至少两限位杆，所述限位杆连接在两所述立板之间，所述限位杆上间隔开设有限位槽；

提手，所述提手两端分别连接两所述立板。

相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：

利用两立板及连接在立板之间的限位杆形成放置硅板的框架结构，间隔设置在限位杆上的限位槽分隔放置各硅板，保证硅板之间互不接触，且方便每块硅板的取出，连接在立板上的提手方便对整体大重量的硅板及提篮的提起搬运。

进一步地，还包括锁紧销，所述锁紧销连接相互匹配插接的所述限位杆与所述立板，用于紧固连接所述限位杆与所述立板。

利用锁紧销锁紧与立板插接的限位杆，保证限位杆在立板上连接的稳固性，同时锁紧销使得立板与限位杆可拆卸式连接，不使用时，将提篮拆卸后归纳放置减少存放空间。

进一步地，所述立板上远离所述限位杆一面开设有与所述锁紧销匹配的销孔，所述销孔轴心线与所述限位杆轴心线平行，所述销孔轮廓与所述限位杆端部轮廓相交。

进一步地，所述销孔与所述锁紧销过盈配合。

在立板与限位杆的接合处设置与锁紧销过盈配合的销孔，通过锁紧销张紧限位杆在立板上的端部，紧固结合限位杆和立板。

进一步地，所述锁紧销及所述销孔中分别设置有相互匹配的外螺纹和内螺纹。

通过锁紧销与销孔螺接匹配，方便紧固限位杆与立板的同时，还可以方便锁紧销的拆卸，方便限位杆与立板的拆卸。

进一步地，所述限位杆设置为三根，三根所述限位杆呈非锐角V形排布。

将限位杆设置为三根呈V形排布，不仅可以从三个方向对硅板起到支撑作用，底部的限位杆能够起到支撑作用，三根限位杆承托住硅板的外周，将硅板立在限位杆的限位槽中，存放稳固，同时放置拿取均方便。

进一步地，所述限位杆设置为四根，四根所述限位杆呈倒梯形排布。

将限位杆设置为倒梯形的四根，从四个方向对硅板起到支撑作用，使得硅板放置稳固不容易晃动。

进一步地，所述提手通过螺栓与所述立板可拆卸式连接。

附图说明