[实用新型]平面研磨设备

权利要求书

1.一种平面研磨设备，包括磨盘（1）、架体（2）和围设组件（3），所述磨盘（1）转动连接于架体（2），其特征在于：所述围设组件（3）包括修正环（31）和设置于修正环（31）内的夹持片（32），所述修正环（31）放置于磨盘（1），所述架体（2）设置有压持组件（4），所述压持组件（4）包括配重块（41）和用于提升配重块（41）的升降元件（42），所述升降元件（42）连接于架体（2），所述配重块（41）抵接于夹持片（32）背向磨盘（1）的一侧。

2.根据权利要求1所述的平面研磨设备，其特征在于：所述升降元件（42）为液压缸，所述升降元件（42）的活塞杆端部设置有固定件（43），所述固定件（43）包括竖向设置的滑移杆（431），所述滑移杆（431）一端连接于配重块（41），所述滑移杆（431）沿自身轴向滑移连接于升降元件（42）的活塞杆。

3.根据权利要求2所述的平面研磨设备，其特征在于：所述固定件（43）还包括连接块（432），所述连接块（432）转动连接于升降元件（42）的活塞杆，所述滑移杆（431）滑移连接于连接块（432）。

4.根据权利要求3所述的平面研磨设备，其特征在于：所述连接块（432）和配重块（41）之间设置有连接弹簧（433）。

5.根据权利要求4所述的平面研磨设备，其特征在于：所述配重块（41）朝向夹持片（32）的一侧连接有弹性垫（411）。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的平面研磨设备，其特征在于：所述架体（2）设置有用于为研磨过程中添加研磨液的供液组件（5），所述供液组件（5）包括储液箱（51）、输送泵（52）和输液管（53），所述输液管（53）连通于输送泵（52）和储液箱（51），所述输液管（53）的管口朝向配重块（41）。

7.根据权利要求6所述的平面研磨设备，其特征在于：所述配重块（41）朝向升降元件（42）的一侧面设置为弧面且弧面的弧口朝向磨盘（1）。

8.根据权利要求7所述的平面研磨设备，其特征在于：所述配重块（41）的侧壁开设有多个过流槽（412），所述过流槽（412）的开口朝向修正环（31）且过流槽（412）朝向配重块（41）端面的两端呈开口状结构。