[实用新型]一种固定碳化硅籽晶的装置有效
| 申请号： | 202120913417.2 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN216006087U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 皮孝东;徐所成;钟红生;王亚哲;姚秋鹏;罗昊;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 杭州乾晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 金方玮 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固定 碳化硅 籽晶 装置 | ||
1.一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，包括坩埚本体以及与坩埚本体盖合的坩埚盖，所述坩埚本体上部设有活动连接的承载环与籽晶盖，所述承载环与籽晶盖用于固定籽晶；所述承载环与籽晶盖同心轴。
2.根据权利要求1所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述坩埚本体上部内壁设有用于放置承载环的凹槽。
3.根据权利要求1所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述承载环内壁设有用于放置籽晶的凹陷部，所述籽晶盖边缘设有与凹陷部相对应的凸起部。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述承载环与籽晶盖通过螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述承载环边缘处设有N等分刻度线，N＞1；所述籽晶盖的边缘设有与刻度线相对应的定位点。
6.根据权利要求3所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述凹陷部的长度为6-10mm。
7.根据权利要求4所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述螺纹的螺距为1.5-2mm。
8.根据权利要求3所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述承载环的凹陷部的内径为0.99-1.05D，其中，D为籽晶的直径。
9.根据权利要求3所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述籽晶盖的直径为0.99-1.05D，其中，D为籽晶的直径。
10.根据权利要求5所述的一种固定碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述N为4、8、12、24或36。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州乾晶半导体有限公司，未经杭州乾晶半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120913417.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于使用的辣椒种植用打孔装置
- 下一篇：一种宠物用多功能项圈
