[实用新型]一种切换掩模板的装置有效
申请号: | 202120916936.4 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN215103484U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 赵鹏鹏;赵平;胡淳;武启飞 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切换 模板 装置 | ||
1.一种切换掩模板的装置,其特征在于,包括:
掩模板盘、基片盘、定位组件和驱动电机;
所述掩模板盘沿环向均匀设置有多个放置掩模板的第一凹槽;所述基片盘设置有至少一个用于放置基片的第二凹槽;
所述定位组件包括定位盘、光电传感器和时间继电器;所述定位盘与所述掩模板盘同轴设置并同步转动;
所述定位盘包括环向间隔设置的多个挡片,各挡片之间具有缺口;所述缺口用于通过所述光电传感器的光信号,所述挡片用于阻挡所述光电传感器的光信号,所述光电传感器根据光信号的通断接通或断开所述驱动电机,所述时间继电器根据控制信号在光电传感器断开所述驱动电机时接通所述驱动电机;所述驱动电机转动以驱动所述掩模板盘转动,以将各所述第一凹槽分别转动至相应的所述第二凹槽处。
2.根据权利要求1所述的切换掩模板的装置,其特征在于,所述缺口对应的圆心角与所述第二凹槽对应的圆心角相同;所述光信号未被遮挡时,所述光电传感器断开所述驱动电机,所述光信号被遮挡时,所述光电传感器接通所述驱动电机驱动所述掩模板盘转动。
3.根据权利要求1所述的切换掩模板的装置,其特征在于,还包括:第一开关、第一继电器和第二继电器,所述第一开关的一端分别连接电源的一端和所述第一继电器的常开端的一端,所述第一开关的另一端连接所述第一继电器的第二公共端,所述第一继电器的第一公共端连接所述电源的另一端,所述第一继电器的常开端的另一端连接所述时间继电器的第二公共端,所述时间继电器的第一公共端连接所述电源的另一端,所述时间继电器的第三端连接所述第二继电器的第一公共端,所述第二继电器的第二公共端、常开端的一端连接所述电源的一端,所述第二继电器的常开端的另一端连接所述驱动电机的第一输入端,所述驱动电机的第二输入端连接所述电源的另一端;
所述光电传感器的一端与所述电源的一端连接,另一端与所述电源的另一端连接,又一端与所述第二继电器的第一公共端连接。
4.根据权利要求3所述的切换模板的装置,其特征在于,还包括:第一控制器,所述第二继电器的常开端的另一端连接所述第一控制器的第一输入端,所述第一控制器的第二输入端连接所述电源的另一端,所述第一控制器的第一输出端连接所述驱动电机的第一输入端,所述第一控制器的第二输出端连接所述驱动电机的第二输入端。
5.根据权利要求1所述的切换模板的装置,其特征在于,还包括:第一开关、第二开关、第一继电器、第二继电器、第三继电器和第四继电器,所述第一开关的一端分别连接电源的一端和所述第一继电器的常开端的一端,所述第一开关的另一端连接所述第一继电器的第二公共端;
所述第二开关的一端连接所述电源的一端,所述第二开关的另一端分别与所述第三继电器的第二公共端和所述第四继电器的第二公共端连接;
所述第一继电器的第一公共端连接所述电源的另一端,所述第一继电器的常开端的另一端连接所述时间继电器的第二公共端;
所述时间继电器的第一公共端连接所述电源的另一端,所述时间继电器的第三端连接所述第二继电器的第一公共端,所述第二继电器的常开端的一端连接所述第四继电器的常闭端,所述第二继电器的常开端的另一端连接所述驱动电机的第一输入端;所述第二继电器的第二公共端分别连接所述第三继电器的第一常闭端和第二常开端;
所述第三继电器的第一常闭端和第一常开端的一端连接电源的一端,所述第三继电器的第一公共端和第二常开端连接所述电源的另一端,所述第三继电器的第一常开端的另一端与所述第三继电器的第二常闭端连接;
所述第四继电器的常闭端和常开端的一端连接所述电源的一端,所述第四继电器的第一公共端连接所述电源的另一端,所述第四继电器的常开端的另一端与所述驱动电机的第一输入端连接,所述驱动电机的第二输入端与所述电源的另一端连接;
所述光电传感器的一端与所述电源的一端连接,另一端与所述电源的另一端连接,又一端与所述第二继电器的第一公共端连接。
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