[实用新型]贴膜机离子风机监控系统

说明书

本实用新型提供一种贴膜机离子风机监控系统，包括离子风机和监控器，所述离子风机设置在贴膜机一侧对贴膜装置进行去静电处理，监控器监控离子风机的电压，监控器连接报警器，离子风机进行除静电，且实时监控离子风机的效果，减少了因离子风机异常不工作导致的静电相关的品质隐患。

技术领域

本实用新型主要涉及半导体设备领域，尤其涉及一种贴膜机离子风机监控系统

背景技术

晶圆生产过程中设备在贴膜过程中，会所产静电，对晶圆会都损伤，需要对贴膜机进行消除静电，且还需要对静电消除的效果进行监控，防止监控效果不好。

实用新型内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种贴膜机离子风机监控系统，包括离子风机2和监控器4，所述离子风机2设置在贴膜机一侧对贴膜装置进行去静电处理，监控器4监控离子风机2的电压，监控器4连接报警器3。

电压数据进行数据设定，电压超出标准时，设备报警，及时能够反馈，技术人员对离子风机状态及时确认，做到提前预防，避免静电发生。

优选的，所述监控器4设有压力表连接离子风机2.

优选的，所述报警器3设有报警铃。

优选的，所述报警器3设有报警指示灯。

优选的，所述监控器4连接监控系统且将数据通过网络传输到监控系统上。

优选的，所述监控系统还包括数据分析模块。通过离子风机监控系统对离子风机的平衡电压进行实时监控，并进行数据分析。

本实用新型的有益效果：

离子风机收集监控器对离子风机的电压进行监控，并反馈给离子风机监控系统，离子风机监控系统对离子风机的状态进行分析，超出管控范围的通过报警器进行报警，设备人员及时调整，达到实时监控的效果，减少了因离子风机异常不工作导致的静电相关的品质隐患。

附图说明

图1为本实用新型的结构图。

具体实施方式

为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

如图1所示可知，本实用新型包括有：。

一种贴膜机离子风机监控系统，包括离子风机2和监控器4，所述离子风机2设置在贴膜机一侧对贴膜装置进行去静电处理，监控器4监控离子风机2的电压，监控器4连接报警器3。

电压数据进行数据设定，电压超出标准时，设备报警，及时能够反馈，技术人员对离子风机状态及时确认，做到提前预防，避免静电发生。

在本实施中优选的，所述监控器4设有压力表连接离子风机2。

在本实施中优选的，所述报警器3设有报警铃。

在本实施中优选的，所述报警器3设有报警指示灯。

在本实施中优选的，所述监控器4连接监控系统且将数据通过网络传输到监控系统上。

在本实施中优选的，所述监控系统还包括数据分析模块。