[实用新型]一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置

权利要求书

1.一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置，包括晶体生长炉，其特征在于：所述晶体生长炉包括炉体（1）和安装于炉体（1）内的热场（2），所述炉体（1）的内壁上纵向开设有四组导向槽（3），所述导向槽（3）内滑动设置有导向轮（4）且一侧开设有安装口（5），所述导向轮（4）的外端与热场（2）相连接，所述安装口（5）内呈倾斜状设置有限位压杆（6），所述限位压杆（6）的上端与安装口（5）的上端通过合页活动连接且内侧与安装口（5）内置之间连接有弹片（7），所述炉体（1）与热场（2）之间设置有保温筒（8），所述保温筒（8）的上端均匀开设有四组卡口（9），所述限位压杆（6）的下端卡扣于卡口（9）内，所述保温筒（8）的内壁上等距加工成型有若干组凸环（10），相邻两组所述凸环（10）之间形成有保温腔道（11），所述保温腔道（11）内均匀开设有若干组保温孔（12）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置，其特征在于：所述保温筒（8）呈筒状结构且内侧与热场（2）外壁相接触，所述保温筒（8）的厚度为3cm-5cm。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置，其特征在于：所述弹片（7）采用金属弹性材料且整体呈瓦楞状结构，所述弹片（7）的外端与限位压杆（6）相连接。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置，其特征在于：所述保温孔（12）包括外端形成有进气口（13）且内端为密封结构，所述保温孔（12）内部形成有储热腔道（14）。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置，其特征在于：所述储热腔道（14）的内部固定有两组储热块（15），两组所述储热块（15）采用储热材料且内部呈蜂窝状结构。