[实用新型]多阶横模抑制的声表面波换能器

权利要求书

1.一种多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补层；

还包括负载层，所述负载层采用如下结构之一或它们的任意组合；

结构一：所述负载层设置于所述温补层上或温补层中，所述负载层不与所述叉指金属层接触，所述负载层覆盖所述叉指金属层中的全部或部分指条端头；

结构二：所述负载层在所述晶圆基底内，所述负载层位于叉指金属层的指条端头位置对应处；

结构三：所述负载层位于叉指金属层和温补层之间，所述负载层覆盖所述叉指金属层中的全部或部分指条端头。

2.如权利要求1所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，在所述结构一中，所述负载层为设置在所述温补层上或所述温补层中的导电层或不导电层；或者所述负载层为设置在温补层中的空洞层。

3.如权利要求2所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，当所述负载层为导电层或不导电层时：

所述负载层包括至少一条沿指条宽度方向延伸的连续的条状带，所述条状带覆盖多个指条端头且位于所覆盖的指条端头的上方。

4.如权利要求2所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，当所述负载层为导电层或不导电层时：

所述负载层包括至少一条沿指条宽度方向延伸的间断的条状带，所述条状带中每个分段覆盖至少一个指条端头且位于所覆盖的指条端头的上方。

5.如权利要求4所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，当所述负载层包括至少一条沿指条宽度方向延伸的间断的条状带时，所述条状带中每个分段覆盖一个指条端头且位于所覆盖的指条端头的正上方。

6.如权利要求2所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，当所述负载层为空洞层时：

所述负载层包括至少一条沿指条宽度方向延伸的连续的条状槽，所述条状槽覆盖多个指条端头且位于所覆盖的指条端头的上方。

7.如权利要求2所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，当所述负载层为空洞层时：

所述负载层包括至少一条沿指条宽度方向延伸的间断的条状槽，所述条状槽中每个分段覆盖至少一个指条端头且位于所覆盖的指条端头的上方。

8.如权利要求1所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，所述结构二为：在所述晶圆基底上与所述叉指金属层的指条端头位置对应处开设有孔洞，在所述孔洞中填充有导电材料或非导电材料，当所述孔洞中填充有导电材料时，每个指条端头位置对应处的孔洞不与所述指条端头相邻的指条端头接触。

9.如权利要求1所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，所述结构三为：所述负载层包括多条分别沿指条长度方向延伸的非金属的条状带，每个所述条状带覆盖一个指条且位于所覆盖的指条的上方。

10.如权利要求1－9之一所述的多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，还包括钝化层，所述钝化层位于最上方的。