[实用新型]一种真空转移样品杆

权利要求书

1.一种真空转移样品杆，包括外套杆、设于外套杆一端的粗调机构、置于外套杆内与粗调机构配合的内拨杆、依次固定于内拨杆一端的压电陶瓷管和探针，其特征在于，所述外套杆与内拨杆之间设有中空结构的真空内套杆，所述真空内套杆远离探针的一端设有套接于外套杆的伸缩旋钮机构，用于驱动真空内套杆在外套杆内做直线往复运动；所述真空内套杆的另一端设有样品安装座，所述样品安装座的端部套接用于密封样品的密封件。

2.根据权利要求1所述的真空转移样品杆，其特征在于：所述伸缩旋钮机构包括旋钮和卡座，所述卡座卡接于旋钮近探针端，所述真空内套杆的外壁设有与旋钮配合的螺纹，所述外套杆的端面设有与卡座固定的连接凸台。

3.根据权利要求1所述的真空转移样品杆，其特征在于：所述样品安装座设有用于放置样品的样品安装位。

4.根据权利要求2所述的真空转移样品杆，其特征在于：所述密封件采用密封O圈。

5.根据权利要求1所述的真空转移样品杆，其特征在于：所述外套杆上设有用于与电镜相配合的限位销和外套杆密封圈。

6.根据权利要求1所述的真空转移样品杆，其特征在于：所述内拨杆和真空内套杆均外套接有外接密封件。

7.根据权利要求1所述的真空转移样品杆，其特征在于：所述粗调机构包括套接于外套杆一端的外壳、X粗调旋钮、Y粗调旋钮和Z粗调旋钮；所述X粗调旋钮和Y粗调旋钮分布于外壳的侧壁，所述Z粗调旋钮设于外壳的顶端。

8.根据权利要求7所述的真空转移样品杆，其特征在于：所使X粗调旋钮、Y粗调旋钮和Z粗调旋钮均采用千分螺旋旋钮。

9.根据权利要求1所述的真空转移样品杆，其特征在于：所述内拨杆通过绝缘的压电陶瓷管固定座与压电陶瓷管固定。

10.根据权利要求1所述的真空转移样品杆，其特征在于：外套杆、真空内套杆、内拨杆和样品安装座均采用铝或铜材质。