[实用新型]紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统以及光刻机

权利要求书

1.一种紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统，其特征在于，包括：第一镜头组件以及第二镜头组件，所述第一镜头组件的焦距为f1，所述第二镜头组件的焦距为f2，紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统的焦距为f，所述紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统满足关系式：0.05≤f1/f≤0.09，0.21≤f2/f≤0.41；

所述第一镜头组件包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜，所述第二镜头组件包括：第十透镜、第十一透镜、第十二透镜，所述第一透镜到所述第十二透镜沿光轴从物侧到像侧依次设置，且所述第一透镜到所述第十二透镜均为单透镜。

2.根据权利要求1所述的紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统，其特征在于，

所述第一透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.40≤Nd≤1.50，80≤Vd≤85；

所述第二透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.40≤Nd≤1.55，60≤Vd≤65；

所述第三透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.40≤Nd≤1.50，80≤Vd≤85；

所述第四透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.70≤Nd≤1.75，50≤Vd≤55；

所述第五透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.40≤Nd≤1.50，80≤Vd≤85；

所述第六透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.70≤Nd≤1.75，50≤Vd≤55；

所述第七透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.40≤Nd≤1.50，80≤Vd≤85；

所述第八透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.40≤Nd≤1.50，80≤Vd≤95；

所述第九透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.40≤Nd≤1.50，80≤Vd≤85；

所述第十透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.55≤Nd≤1.65，35≤Vd≤45；

所述第十一透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.60≤Nd≤1.65，30≤Vd≤40；

所述第十二透镜的折射率Nd和阿贝数Vd满足关系式：1.65≤Nd≤1.75，50≤Vd≤60。

3.根据权利要求1所述的紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统，其特征在于，所述第一透镜、所述第八透镜、所述第九透镜中至少一个为弯月透镜；

和/或，所述第二透镜为平凸透镜，所述第十二透镜为平凸透镜。

4.根据权利要求1所述的紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统，其特征在于，所述紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统为双远心结构。

5.根据权利要求1所述的紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统，其特征在于，所述第一透镜、所述第四透镜、所述第六透镜以及所述第十透镜为负透镜，所述第二透镜、所述第三透镜、所述第五透镜、所述第七透镜、所述第八透镜、所述第九透镜、所述第十一透镜、所述第十二透镜为正透镜。