[实用新型]一种实时监测的打标装置有效
| 申请号： | 202121002749.1 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN214703294U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 庄景涛;杨伟林;王灿;黄汉杰;杨林杰 | 申请（专利权）人： | 友芯（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95;B23K26/352;B23K26/70 |
| 代理公司： | 厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234 | 代理人： | 杨泽奇 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市火炬高新区(*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实时 监测 装置 | ||
1.一种实时监测的打标装置，其特征在于：包括激光器(10)、二向色镜(20)、点光源组件(30)、聚焦组件(40)和检测模块(50)；
所述二向色镜(20)、所述聚焦组件(40)依次设于所述激光器(10)和所述点光源组件(30)发出的光束路径上；
所述激光器(10)发出的光束和所述点光源组件(30)发出的光束分别为所述二向色镜(20)的透射光和反射光或反射光和透射光；
所述检测模块(50)用于获取工件反射的检测光，所述检测模块(50)与所述点光源组件(30)设于同一光路上。
2.根据权利要求1所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述二向色镜(20)相邻于所述激光器(10)和所述点光源组件(30)设置，且所述激光器(10)发出的光束和所述点光源组件(30)发出的光束相互垂直。
3.根据权利要求2所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述二向色镜(20)为短波通二向色镜、多波段二向色镜、长波通二向色镜中的一种。
4.根据权利要求3所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述激光器(10)发出的光束为所述二向色镜(20)的透射光，所述点光源组件(30)发出的光束为所述二向色镜(20)的反射光。
5.根据权利要求4所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述二向色镜(20)为短波通二向色镜，所述短波通二向色镜的截止波段425，所述激光器(10)为紫光激光器，所述紫光激光器波长为355，所述点光源组件(30)包括白光点光源，所述白光点光源波长大于所述短波通二向色镜的截止波段425。
6.根据权利要求1所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述实时监测的打标装置还包括笼式立方体，所述笼式立方体用于安装调节二向色镜(20)。
7.根据权利要求1所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述点光源组件(30)包括远心镜头和点光源。
8.根据权利要求1所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述聚焦组件(40)包括振镜(41)和场镜(42)，所述振镜(41)和所述场镜(42)相适配。
9.根据权利要求1所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述检测模块(50)为ccd模组。
10.根据权利要求1所述的实时监测的打标装置，其特征在于：所述实时监测的打标装置还包括显示器，所述显示器与所述检测模块(50)通信连接。
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