[实用新型]一种探针卡固定治具及检测台

说明书

本申请提供了一种探针卡固定治具及检测台，探针卡固定治具包括：底座；两个支撑座，两个所述支撑座设于所述底座上；定位基板，所述定位基板固定在所述支撑座顶端，且所述定位基板底部具有朝向所述底座的水平表面；驱动器，所述驱动器可移动设置于所述支撑座上，且所述驱动器顶端用于放置探针卡；所述驱动器用于驱动所述探针卡向所述水平表面方向移动。本申请解决了现有的探针卡固定治具将探针卡固定之后测量的探针长度有误差，会使探针卡的校准精度下降的问题。

技术领域

本申请涉及探针卡固定装置领域，特别涉及一种探针卡固定治具及检测台。

背景技术

探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件，探针卡上的探针直接与晶圆上的锡垫或凸块接触，引出电信号，再配合测试机进行测量。探针卡上探针的数量从几根到几百根不等，数量越大探针卡价格越昂贵。探针卡的使用寿命一般都在1000万次以上，因此一个新的探针卡从投入使用到报废的这个过程中需要多次维护，探针卡在使用前需要对其进行测试，来保证其精度，在测试过程中需要使用到固定治具将探针卡固定住。

现有的探针卡固定治具，是将探针卡摆放在一水平表面上，使探针卡的底面贴触在该水平表面上，致使探针卡与水平表面对位而呈水平装摆放，再利用盖板压在探针卡的顶面上以使探针卡固定，由于探针卡在多次使用之后其自身的PCB板的平整度会发生变化，因此将探针卡的底面进行水平对位，而具有探针的探针卡顶面却有弯曲的现象，这样容易导致探针卡固定之后对探针测量的长度产生误差，使得探针卡的校准精度下降。

实用新型内容

本申请实施例提供一种探针卡固定治具及检测台，解决了现有的探针卡固定治具将探针卡固定之后测量的探针长度有误差，会使探针卡的校准精度下降的问题。

本实用新型是这样实现的，一种探针卡固定治具，包括：

底座；

两个支撑座，两个所述支撑座设于所述底座上；

定位基板，所述定位基板固定在所述支撑座顶端，且所述定位基板底部具有朝向所述底座的水平表面；

驱动器，所述驱动器可移动设置于所述支撑座上，且所述驱动器顶端用于放置探针卡；

所述驱动器用于驱动所述探针卡向所述水平表面方向移动。

根据本申请实施例提供的探针卡固定治具，通过调节驱动器来驱动探针卡向定位基板的水平表面方向移动，可以将探针卡固定在驱动器和水平表面之间，此时探针卡具有探针的顶面就与定位基板的水平表面贴抵，探针卡呈水平状固定，这样在测量探针长度时就可以消除探针卡自身PCB板弯曲带来的误差，提高探针长度测量的准确度，进而使探针卡的校准精度得到提升。

在其中一个实施例中，所述驱动器包括滑块和调节旋钮；

所述滑块可移动设置于所述支撑座上，所述调节旋钮转动设置于所述滑块底部，用于驱动所述滑块相对于所述支撑座移动。

在其中一个实施例中，所述调节旋钮外表面设置有辅助槽。

在其中一个实施例中，所述驱动器顶端设置有卡槽，所述卡槽用于放置探针卡。

在其中一个实施例中，所述卡槽表面设有防滑垫片。

在其中一个实施例中，所述底座上开设有镂空槽。

在其中一个实施例中，所述底座的底面均匀分布设置有至少三个防滑垫块。

本申请实施例还提供了一种检测台，包括：

检测台本体，所述检测台本体上设置有投影仪；

如上述任一实施例所述的探针卡固定治具，所述探针卡固定治具设置于所述检测台本体上，且位于所述投影仪上方；