[实用新型]高精密滤光片量产工装卡具

说明书

本实用新型属光学镀膜领域，尤其涉及一种高精密滤光片量产工装卡具，包括卡具本体（1）；所述卡具本体（1）的底面（2）为球面型，其球面半径与镀膜伞的内球面半径相同；所述卡具本体（1）上均匀分布基底装配孔（3）；所述基底装配孔（3）的开孔方向均指向底面（2）的球面型球心；所述基底装配孔（3）的外沿采用倒角结构。本实用新型镀膜伞开孔数量多，镀膜装机的数量大，可对小容差光谱指标滤光片进行镀制。

技术领域

本实用新型属光学镀膜领域，尤其涉及一种高精密滤光片量产工装卡具。

背景技术

镀膜伞和基底卡具是镀膜机上的主要装置，是获得均匀膜厚的重要条件之一。目前现状是：方案一，在热蒸发点蒸发源的配置下，因为基底表面视作镀膜伞的一部分，大尺寸平面基底安装在镀膜伞上无法保障镀膜伞的面型，很难满足各个位置的膜厚都均匀一致，因此无法生产小离散的滤光片，此配置只能生产光谱指标容差大一些的滤光片，如图4和图5的组合。方案二，在热蒸发点蒸发源的配置下，采取小尺寸基底安装在小孔镀膜伞的方式，如图6和图7的组合，由于基底尺寸小，可以近似镀膜伞的面型，该配置可以生产光谱指标容差小的高精密滤光片，但该配置受到基底卡具沿的影响，会减少镀膜伞开孔的数量，即影响了每次镀制产品的数量。现在的两种方案都有些不足，在这样的背景下设计了新的基底卡具。

实用新型内容

本实用新型旨在克服现有技术的不足之处而提供一种镀膜伞开孔数量多，镀膜装机的数量大，可对小容差光谱指标滤光片进行镀制的高精密滤光片量产工装卡具。

为解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

高精密滤光片量产工装卡具，包括卡具本体；所述卡具本体的底面为球面型；所述卡具本体上均匀分布基底装配孔；所述基底装配孔的开孔方向均指向底面的球面型球心。

作为一种优选方案，本实用新型所述底面的球面半径与镀膜伞的内球面半径相同。

进一步地，本实用新型所述基底装配孔的外沿采用倒角结构。

本实用新型实现了大卡具小基底的加密排布，减小了卡具安装基底和镀膜伞装卸卡具的工作量，该卡具与图4大孔镀膜伞配合使用，提高了每次镀膜装机的数量，从而实现了产能提升。本实用新型卡具的球面型和开孔指向球心的设计，解决了膜层厚度分布不均的问题，可对小容差光谱指标滤光片的镀制，实现了生产高精密滤光片的要求。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。本实用新型的保护范围不仅局限于下列内容的表述。

窗体底端

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型剖视图；

图3为本实用新型图2中B处局部放大图；

图4为大孔镀膜伞结构示意图；

图5为大孔平面卡具俯视图；

图6为小孔镀膜伞结构示意图；

图7为小孔卡具剖视图。

图中：1、卡具本体；2、底面；3、基底装配孔；301、外沿；清根处4。

具体实施方式

如图所示，高精密滤光片量产工装卡具，包括卡具本体1；所述卡具本体1的底面2为球面型，其球面半径与镀膜伞的内球面半径相同；所述卡具本体1上均匀分布基底装配孔3；所述基底装配孔3的开孔方向均指向底面2的球面型球心。

本实用新型所述基底装配孔3的外沿301采用倒角结构。

本实用新型以硬铝合金为材料，该材料在满足强度的要求下，质量相对较轻，减轻转动机构的负荷，有利于镀膜伞的平稳运转，有利于膜厚的均匀分布。