[实用新型]一种纳米压印机基片定位装置

权利要求书

1.一种纳米压印机基片定位装置，包括底板(3)、环形晶圆座(4)和丝杆座(7)，其特征在于，还包括螺纹杆(10)、弧形托块(8)和光刻镜头座(16)，所述底板(3)顶部设有环形晶圆座(4)，所述光刻镜头座(16)设置于环形晶圆座(4)顶部，所述环形晶圆座(4)内设有圆形支撑块(5)，所述环形晶圆座(4)与圆形支撑块(5)之间底部通过螺栓安装有圆形玻璃片(6)，所述圆形玻璃片(6)顶部两侧且位于环形晶圆座(4)与圆形支撑块(5)之间设有丝杆座(7)，所述丝杆座(7)两端分别通过螺栓与环形晶圆座(4)和圆形支撑块(5)安装连接，所述丝杆座(7)顶部均设有弧形托块(8)。

2.根据权利要求1所述的一种纳米压印机基片定位装置，其特征在于：所述丝杆座(7)顶部开设有丝杆槽(9)，所述丝杆槽(9)内通过轴承转动安装有螺纹杆(10)，所述圆形玻璃片(6)两侧的螺纹杆(10)分别为正螺纹和反螺纹，所述螺纹杆(10)上螺纹套设有丝套(11)，所述弧形托块(8)底部通过螺栓与对应的丝套(11)安装连接，所述弧形托块(8)内侧底部设有弧形凸起(14)，所述弧形凸起(14)的位置高于圆形支撑块(5)。

3.根据权利要求1所述的一种纳米压印机基片定位装置，其特征在于：所述丝杆座(7)顶部两侧分别开设有直线槽(12)，所述弧形托块(8)底部两侧分别设有与直线槽(12)对应的滑块(13)，所述弧形托块(8)底部通过滑块(13)与直线槽(12)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种纳米压印机基片定位装置，其特征在于：所述底板(3)顶部通过螺栓装配有四组光电传感器发射器(18)，所述光电传感器发射器(18)分别布设于底板(3)两侧，所述光刻镜头座(16)底部分别通过螺栓安装有与光电传感器发射器(18)对应的光电传感器接收器(19)，所述光刻镜头座(16)内嵌设有光刻镜头(17)。

5.根据权利要求1所述的一种纳米压印机基片定位装置，其特征在于：所述环形晶圆座(4)底部通过螺栓安装有支撑柱(21)，所述支撑柱(21)底端通过螺栓与底板(3)安装连接。

6.根据权利要求1所述的一种纳米压印机基片定位装置，其特征在于：所述底板(3)底部依次设有z轴电动滑轨(2)和x轴电动滑轨(1)，所述底板(3)上开设有安装孔(20)，所述z轴电动滑轨(2)底部通过螺栓安装于x轴电动滑轨(1)的滑动块上，所述底板(3)的安装孔(20)通过螺栓安装于z轴电动滑轨(2)的滑动块上。

7.根据权利要求1所述的一种纳米压印机基片定位装置，其特征在于：所述环形晶圆座(4)一端通过螺栓安装有伺服马达(15)，所述伺服马达(15)的驱动端与环形晶圆座(4)内一侧的螺纹杆(10)的转动轴安装连接，所述环形晶圆座(4)内两侧的螺纹杆(10)之间通过联轴器安装连接。