[实用新型]一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构有效
申请号: | 202121021351.2 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN215494202U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 周云;张恒;王钦华;方宗豹;陈林森;孟德宇;陆平英;陈华锋;武荣风;詹智诚 | 申请(专利权)人: | 苏州大学;京东方光科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;H01Q17/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 吴竹慧 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外 红外 波段 高效 双面 结构 | ||
1.一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,包括:
介质层,所述介质层的上下表面分别设有结构参数相同的上蛾眼纳米结构阵列和下蛾眼纳米结构阵列,所述上蛾眼纳米结构的高度与底部宽度之比为A1,所述下蛾眼纳米结构的高度与底部宽度之比为A2,其中A2=A1≥1,所述上蛾眼纳米结构阵列的周期为P1,所述下蛾眼纳米结构阵列的周期为P2,其中450nm≤P1=P2≤650nm,所述上蛾眼纳米结构阵列的表面覆盖有均匀厚度的上金属层,所述上金属层的外表面覆盖有上覆盖层,所述下蛾眼纳米结构阵列的表面覆盖有均匀厚度的下金属层,所述下金属层的外表面覆盖有下覆盖层。
2.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上蛾眼纳米结构阵列的周期为P1,所述下蛾眼纳米结构阵列的周期为P2,其中P1=P2=550nm。
3.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上蛾眼纳米结构的高度和下蛾眼纳米结构的高度均为350nm,所述上蛾眼纳米结构的底部宽度和下蛾眼纳米结构的底部宽度均为350nm。
4.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上金属层的厚度和下金属层的厚度均为10nm。
5.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上覆盖层的表面和下覆盖层的表面均为平面,且所述上覆盖层的最大厚度和下覆盖层的最大厚度均为200nm。
6.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上覆盖层和下覆盖层均由二氧化硅制成。
7.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上金属层和下金属层均由镍、铬、钛、铝和钨中的一种或几种制成。
8.如权利要求7所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上金属层和下金属层均由铬制成。
9.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述介质层由石英、单晶硅、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸丁酯、全氟聚醚、聚碳酸酯和紫外光固化胶中的一种或两种制成。
10.如权利要求1所述的一种紫外至近红外波段的高效双面吸波结构,其特征在于,所述上蛾眼纳米结构和下蛾眼纳米结构的形状均为纳米半椭球体、圆锥体、纳米圆台体、纳米三棱锥体或抛物线体的纳米结构。
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