[实用新型]一种低温等离子废气处理发生器

权利要求书

1.一种低温等离子废气处理发生器，其特征在于，包括：

进口封头(1)；

反应室(2)；

出口封头(3)，所述进口封头(1)和出口封头(3)分别连接于所述反应室(2)的两端；

进气口(4)，所述进气口(4)位于所述进口封头(1)上；

出气口(5)，所述出气口(5)位于所述出口封头(3)上；

支撑板一(7)，所述支撑板一(7)位于进口封头(1)和反应室(2)连接处并隔离进口封头(1)和反应室(2)；

支撑板二(8)，所述支撑板二(8)位于出口封头(3)和反应室(2)连接处并隔离出口封头(3)和反应室(2)；

废气处理单元(9)，所述废气处理单元(9)位于所述反应室(2)内，并固定连接于支撑板一(7)和支撑板二(8)之间，所述废气处理单元(9)入口穿过所述支撑板一(7)后与所述进口封头(1)内连通，所述废气处理单元(9)出口穿过所述支撑板二(8)后与所述出口封头(3)内连通；

所述废气处理单元(9)包括：

干燥仓(91)，所述干燥仓(91)进口连通与所述进口封头(1)区域；

电离仓(92)，所述电离仓(92)进口与所述干燥仓(91)出口连接；

储气仓(93)，所述储气仓(93)进口与所述电离仓(92)出口连接，所述储气仓(93)包括螺旋管道一(931)、螺旋管道二(932)和螺旋管道三(933)，所述螺旋管道一(931)、螺旋管道二(932)和螺旋管道三(933)具有相同的螺旋方向并首尾相连呈交替式缠绕。

2.根据权利要求1所述一种低温等离子废气处理发生器，其特征在于，所述进口封头(1)内安装有气流分布器(6)。

3.根据权利要求2所述一种低温等离子废气处理发生器，其特征在于，气流分布器(6)呈碟形结构，所述气流分布器(6)外周固定连接于进口封头(1)内壁上，所述述气流分布器(6)中间区域开孔率低于四周区域。

4.根据权利要求1所述一种低温等离子废气处理发生器，其特征在于，还包括：

过滤单元(10)，所述过滤单元(10)位于所述出口封头(3)内。

5.根据权利要求4所述一种低温等离子废气处理发生器，其特征在于，所述过滤单元(10)包括过滤网。

6.根据权利要求1所述一种低温等离子废气处理发生器，其特征在于，所述出口封头(3)与所述反应室(2)为可拆卸连接。