[实用新型]一种石英管类法兰卷边测量装置

说明书

本实用新型公开了一种石英管类法兰卷边测量装置，包括顶板，还包括用于放置法兰的定位放置结构、用于固定石英管的下压紧固装置、用于顶出面压纸的上顶结构装置和用于缓冲上顶过程的缓冲加压治具，在顶板上设置有检测口，所述下压固定装置固定在顶板上，所述定位放置结构固定在上顶结构装置上，定位放置结构设置在检测口的正下方，所述缓冲加压治具设置在定位放置结构上。本实用新型提供一种石英管类法兰卷边测量装置，测量方便准确、不会对法兰和石英管产品造成损坏。

技术领域

本实用新型涉及石英管法兰面检测治具技术领域，尤其是涉及一种石英管类法兰卷边测量装置。

背景技术

由于半导体行业对石英管类产品法兰密封面的要求特别高，不仅要满足图纸上平面度的要求，边缘也要求不能有卷边，这就要求能有相应的治具和方法检测出法兰边缘是否有影响产品性能的卷边。但是在测量过程中，由于石英管体积很大，采用面压纸对法兰面进行检测时还需要加压几秒，会存在面压纸施力不均匀等问题，导致测量难度大且不准确，且石英管表面精度要求高，不能对石英管表面造成损坏。

例如，在中国专利文献上公开的“一种密封效果好的法兰面螺栓检测装置”，其公告号CN213148244U，包括工作台，工作台的下表面设置有支撑柱，工作台的下表面设置有用来增压作用的增压部件，工作台的上表面设置有检测作用的检测部件，本实用新型通过操作人员首先将检测螺栓安装在密封测量箱内，通过启动气泵将空气从导气管导入气压仓内，通过气压仓内不断的压缩空气产生的压强，当螺栓的某处存在缺陷时由于内部的压强大于外部的压强，就会将螺栓口的丝带带动，但该技术方案用于检测法兰面的螺栓处的是否存在缺陷，但该技术方案难以用于对法兰面卷边进行检测。

发明内容

本实用新型是为了克服上述现有技术中石英管法兰面上的卷边测量困难等问题，提供一种石英管类法兰卷边测量装置，测量方便准确、不会对法兰和石英管产品造成损坏。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英管类法兰卷边测量装置，包括顶板，还包括用于放置法兰的定位放置结构、用于固定石英管的下压紧固装置、用于顶出面压纸的上顶结构装置和用于缓冲上顶过程的缓冲加压治具，在顶板上设置有检测口，所述下压固定装置固定在顶板上，所述定位放置结构固定在上顶结构装置上，定位放置结构设置在检测口的正下方，所述缓冲加压治具设置在定位放置结构上。

在该技术方案中，定位放置结构用于固定法兰、下压紧固装置用于将产品固定在顶板上，在使用时，将石英管放置在顶板上，并通过下压紧固装置将石英固定，上顶结构装置将法兰顶出到最高处进而使面压纸与石英管的法兰面完全接触，通过观测面压纸的显色来判断是否存在卷边，操作方便快捷。而其中缓冲加压治具的设置有利于在上顶过程中起到缓冲的作用，防止损坏石英管与法兰。

作为优选，所述下压固定装置包括支架、肘夹治具和压板组件，所述肘夹治具固定在支架上，所述压板组件滑动设置在肘夹治具上。

下压固定装置通过肘夹治具快速用压板组件将石英管夹紧，提高装夹效率。

作为优选，所述压板组件包括压紧产品的压块、用于连接压块和肘夹治具的连接块、设置压块和连接块之间的第一弹性缓冲件，在连接块上设置有滑动设置在肘夹治具上的滑柱，所述第一弹性缓冲间包括第一限位柱和套设在第一限位柱外的第一弹簧，所述第一限位柱一端固定在压板上，另一端滑动设置在连接块上。

第一弹性缓冲件的设置有利于在装夹时对石英管具有一定的缓冲作用，避免在装夹时划伤石英管或对石英管造成其他损坏。

作为优选，所述上顶结构装置包括顶杆、拉杆和用于连接顶杆和拉杆的顶起连接组件，所述顶起连接组件包括转轴、顶块支架、用于连接转轴和顶块支架的转轴杆、用于连接顶杆和顶块支架的顶杆板和顶杆限位组件，所述转轴的端部连接在拉杆上。

上顶结构装置通过拉动拉杆使顶起连接组件内的各个部件发生联动进而使顶杆顶出，操作便捷省力。