[实用新型]抽真空式油蒸发器和真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202121041250.1 申请日: 2021-05-14
公开(公告)号: CN214612723U 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 黎裕有 申请(专利权)人: 广东顺德凯普司特电子材料有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 佛山市科策知识产权代理事务所(普通合伙) 44539 代理人: 蔡怡莉
地址: 528000 广东省佛山市顺*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空 蒸发器 真空镀膜
【权利要求书】:

1.一种抽真空式油蒸发器,用于形成屏蔽油涂层,其特征在于,所述抽真空式油蒸发器包括:

蒸发主体,所述蒸发主体具有蒸发腔室,所述蒸发主体上开设有与所述蒸发腔室连通的油雾出口;

喷嘴板,所述喷嘴板设于所述蒸发主体,所述喷嘴板上开设有喷嘴孔,所述喷嘴孔与所述油雾出口连通;

油蒸发模块,所述油蒸发模块设于所述蒸发主体且与所述蒸发腔室连通,所述油蒸发模块通过外供油管与外部屏蔽油连通;和

真空回收装置,所述真空回收装置与所述蒸发腔室连通。

2.如权利要求1所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述真空回收装置包括:

回收瓶,所述回收瓶临近所述蒸发主体设置;

真空泵,所述真空泵的出口端与所述回收瓶连接;和

抽油管,所述抽油管分别与所述蒸发腔室和所述真空泵的进口端连接。

3.如权利要求2所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述抽油管具有两个进口油和一个出油口,两个所述进油口间隔设置且分别与所述蒸发腔室连通,所述出油口与所述真空泵的进口端连接。

4.如权利要求1所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述外供油管设有单向阀。

5.如权利要求1所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述抽真空式油蒸发器还包括多个加热管,所述加热管设于所述蒸发主体且伸入所述蒸发腔室。

6.如权利要求5所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述加热管有八个,且以单侧四个的方式设于所述蒸发主体的相对两侧,且从所述蒸发主体的四个顶角处伸入所述蒸发腔室。

7.如权利要求1所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述喷嘴板通过螺纹紧固件设于所述蒸发主体,所述喷嘴板与所述蒸发主体的连接处设有密封件。

8.如权利要求1所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述油雾出口为条形开口,所述喷嘴孔有多个且沿着所述油雾出口的开口方向间隔设置。

9.如权利要求1至8任一项所述的抽真空式油蒸发器,其特征在于,所述抽真空式油蒸发器还包括控制器,所述控制器与所述真空回收装置电连接。

10.一种真空镀膜机,用于形成金属化薄膜,其特征在于,所述真空镀膜机包括如权利要求1至9任一项所述的抽真空式油蒸发器。

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