[实用新型]一种太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置

权利要求书

1.一种太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，包括设备PLC控制器、设备CDA总端、设备吸盘、设备顶齿、两个对称设置于所述设备顶齿两侧的设备梳齿、设备支架和活动连接于所述设备支架左侧前端面的移动风刀，其特征在于：所述设备支架的右侧前端面设有静电消除棒，所述静电消除棒的风口朝所述设备顶齿方向设置，所述静电消除棒通过气管与所述设备CDA总端管路连通，所述气管上位于所述静电消除棒和所述设备CDA总端之间设有电磁阀，所述静电消除棒电性连接有为其提供工作电压的高压电源，所述电磁阀和所述高压电源分别与所述设备PLC控制器电性连接，所述静电消除棒和所述电磁阀可在所述设备PLC控制器的控制下同步工作，使所述静电消除棒的风口间歇性输出带正负电荷的气流。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，其特征在于：所述静电消除棒的后端通过圆形安装板可拆卸式安装于所述设备支架的右侧前端面上。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，其特征在于：所述圆形安装板上设有弧形腰孔，所述静电消除棒通过弧形腰孔可转动式安装于所述设备支架的右侧前端面上。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，其特征在于：所述静电消除棒平行于所述移动风刀安装于所述设备支架的右侧前端面上。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，其特征在于：所述静电消除棒的风口与所述移动风刀的风口等高设置。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，其特征在于：所述高压电源与所述ALD设备的220V输出机台端子电性连接。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，其特征在于：所述电磁阀的工作电压输入端通过降压模块与所述ALD设备的220V输出机台端子电性连接。