[实用新型]一种超宽带红外增透膜

说明书

本实用新型涉及一种超宽带红外增透膜，包括在基底材料上由里向外依次堆叠的第一ZnS膜层、第一Ge膜层、第一YbF₃膜层、第二Ge膜层、第二YbF₃膜层、第三Ge膜层、第三YbF₃膜层和第二ZnS膜层，较之前的现有技术，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型的超宽带红外增透膜强度和硬度均较高，可适应各种恶劣的环境变化，而且在3um到12um的波段内光的平均反射率均低于2％。

技术领域

本实用新型涉及一种超宽带红外增透膜。

背景技术

红外光学系统通常由多个红外光学元件组成，大多数红外光学窗口材料的透过率都比较低，例如锗Ge的透过率T＝47％，硅Si的透过率＝53％，硒化锌ZnSe的透过率＝68％，硫化锌ZnS的透过率＝75％。多个红外光学元件的组合意味着红外光学系统的通光量极低，光学系统基本无法工作，因此降低红外材料表面反射率，提高透过率，对提高红外光学系统性能有着极其重要的意义。

红外增透膜通常根据光学系统使用的红外窗口波段进行设计，常用的红外窗口波段有中波红外3-5um(大气窗口)和长波红外8-12um。波长越长、波段越宽则会带来膜层越厚，相对反射率也会越高，膜层应力越不匹配，膜层牢固度越差等问题。而且大多数光学系统窗片都是暴露在大气环境中直接使用，部分区域恶劣的自然环境会破坏其表面，降低透过率，严重的甚至会导致光学系统失效。因此红外增透膜必须高强度高硬度，以便能适应各种恶劣的环境变化。

实用新型内容

本实用新型涉及一种超宽带红外增透膜，它可应用在红外光学材料上，在3um到12um的波段内光的平均反射率均低于2％，而且强度高、硬度高，可适应各种恶劣的环境变化。

本实用新型通过以下技术方案实现：

一种超宽带红外增透膜，包括在基底材料上由里向外依次堆叠的第一ZnS膜层、第一Ge膜层、第一YbF₃膜层、第二Ge膜层、第二YbF₃膜层、第三Ge膜层、第三YbF₃膜层和第二ZnS膜层，

所述的第一ZnS膜层的膜厚为68.79-71.60nm；

所述的第一Ge膜层的膜厚为194.56-202.50nm；

所述的第一YbF₃膜层的膜厚为166.57-173.37nm；

所述的第二Ge膜层的膜厚为134.99-140.50nm；

所述的第二YbF₃膜层的膜厚为337.83-351.62nm；

所述的第三Ge膜层的膜厚为65.08-67.74nm；

所述的第三YbF₃膜层的膜厚为741.71-771.98nm；

所述的第二ZnS膜层的膜厚为49.49-51.51nm。

所述的基底材料为Ge基底。

较之前的现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的超宽带红外增透膜的第一ZnS膜层可提高膜层与基底材料的附着力，第二ZnS膜层可提高膜层强度和硬度，Ge膜层和YbF₃膜层分别作为高低折射率材料组成增透膜的主膜堆，因此本实用新型的超宽带红外增透膜强度和硬度均较高，可适应各种恶劣的环境变化，而且在3um到12um 的波段内光的平均反射率均低于2％。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图2是实施例1的带有超宽带红外增透膜的Ge基底的反射光谱曲线。