[实用新型]一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀

权利要求书

1.一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，包括阀座(2)和阀盖(4)，阀盖(4)安装在阀座(2)上，其特征在于：包括磁悬浮阀芯(22)及致动组件；阀座(2)和阀盖(4)紧密装配并内部合围形成超洁净流室，超洁净流室具有与外部环境连通的进口流道(1)和出口流道(24)；磁悬浮阀芯(22)位于超洁净流室内；致动组件安装在阀盖(4)外，致动组件内嵌装有外置永磁体分层磁组(8/28)，通过致动组件带动外置永磁体分层磁组(8/28)沿超洁净流室上下移动，进而磁性带动超洁净流室中的磁悬浮阀芯(22)沿超洁净流室上下移动进而靠近或者远离进口流道(1)在阀座(2)的出口，实现阀控。

2.根据权利要求1所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：

所述的致动组件整体设置在阀盖(4)外壁，致动组件包括空间分层排布的外置永磁体分层磁组(8/28)、调距手轮(11)和连接卡箍(9)，调距手轮(11)通过螺纹(12)套装在阀盖(4)上端的螺纹轴(13)上，调距手轮(11)下方的阀盖(4)外套装有连接卡箍(9)，连接卡箍(9)底部和阀盖(4)之间设有环形腔，环形腔中安装外置永磁体分层磁组(8/28)。

3.根据权利要求2所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：

所述的连接卡箍(9)上端设有环状凹槽和环状凸起(10)，调距手轮(11)下端也设有环状凹槽和环状凸起，调距手轮(11)的环状凸起嵌装于连接卡箍(9)的环状凹槽，连接卡箍(9)的环状凸起嵌装于调距手轮(11)的环状凹槽，使得连接卡箍(9)和调距手轮(11)相互之间形成轴向的固接关系。

4.根据权利要求1所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：

所述的磁悬浮阀芯(22)包括环形体、块状体、内嵌空间分层磁组(19/32)和连接臂(20)；环形体位于块状体上方，环形体内设有环形空腔，环形空腔内嵌安装有内嵌空间分层磁组(19/32)，环形体开设通流孔(15)，环形体和块状体之间具有上下方向的间隙，环形体和块状体之间通过周围沿周向间隔设置的多个连接臂(20)紧密连接，环形体内部设置为带有环形腔的空心结构，块状体内部实心。

5.根据权利要求1所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：

所述的阀座(2)顶面在进口流道(1)出口端处设有凸起表面作为密封凸台(23)，磁悬浮阀芯(22)底面设有内凹表面作为环形密封面(21)，密封凸台(23)和环形密封面(21)对应相线嵌装。

6.根据权利要求4所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：

所述的内嵌空间分层磁组(19/32)分为从上层到下层依次布置的上层内磁体(16/29)、中层内连接块(17)和下层内磁体(18/31)，中层内连接块(17)位于上层内磁体(16/29)和下层内磁体(18/31)之间；所述的外置永磁体分层磁组(8/28)分为从上层到下层依次布置的上层外磁体(7/27)、中层外连接块(6)和下层外磁体(5/25)，中层外连接块(6)位于上层外磁体(7/27)和下层外磁体(5/25)之间；

上层内磁体(16/29)和上层外磁体(7/27)均沿径向从内向外或者从外向内充磁，且充磁方向相反；下层内磁体(18/31)和下层外磁体(5/25)均沿径向从内向外或者从外向内充磁，且充磁方向相反；上层内磁体(16/29)和下层内磁体(18/31)的充磁方向相同，上层外磁体(7/27)和下层外磁体(5/25)的充磁方向相同。