[实用新型]一种便于水汽再生型低温泵

说明书

本实用新型涉及真空技术领域，公开一种便于水汽再生型低温泵，包括冷泵壳体、一级冷头和二级冷头和制冷机，一级冷头安装在冷泵壳体内，二级冷头安装在一级冷头内，冷泵壳体外安装有与其内连通的过渡筒，制冷机安装在过渡筒上，制冷机的冷头通过过渡筒伸入到冷泵壳体内并同时与一级冷头和二级冷头连接；过渡筒上安装有给其内腔加热的加热件；一级冷头顶端与冷泵壳体的泵口之间设有预抽腔体，预抽腔体的侧壁上安装有与其连通的预抽接头。对低温泵的冷泵壳体进行加高设计。使其在泵口处安装一个大口径的预抽接头，同时使用大抽速的预抽泵进行预抽，结合内置加热，使低温泵吸附的水汽，已汽态形式被预抽泵抽走，从而使低温泵水汽再生效果达到最佳。

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，尤其涉及一种便于水汽再生型低温泵。

背景技术

随着真空系统的发展，对特别是真空镀膜工艺的发展，真空镀膜的基材和镀料的种类越来越多样化。

基材、镀料和工艺的多样化带来了很多技术性问题，其中就包括镀膜过程中大量的水分子的产生。

而在生产中这些水分子都会对工艺和产品的质量稳定性产生影响，需要通过烘烤和真空泵抽取进行处理。

在真空应用中，尤其在真空镀膜领域，真空空间的水汽采用普通抽除方法效果较差，例如申请号为201810611820.2的一种低温泵。包括最为常用的扩散泵和分子泵在对真空空间的水汽的抽取能力都不高。一般采用GM制冷机低温真空泵来作为真空系统的主泵。

低温真空泵通过低温捕集和吸附作用，低温泵一级冷板对真空系统中的大量水分子和CO2等气体进行捕集和吸附，同时二级冷板对N2、H2、O2等其他气体分子进行捕集和吸附，从而形成高真空。

低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。随着低温泵的广泛使用，在其使用过程中又暴露了一些问题，最典型的问题是，在低温泵对大量水分子和其他气体吸附饱和后，需要对低温泵进行再生，而起再生过程中，冷凝捕集的水分子的量过大，通过一般的再生的方式很难被完全去除，影响再生时间降低生产效率。

包括很多美国和日本低温泵生产厂家，无论采用外置式加热再生，还是内置式电加热再生都没有很好的解决在大量水分子存在时的再生问题，再生过程中泵底积水的情况普遍存在。同时一部分低温泵在再生加热时对泵内充入氮气的方法也不能有效的解决该种情况的发生。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中再生过程中大量水分液化在过渡筒内无法排出的缺点，提供一种便于水汽再生型低温泵。

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：

一种便于水汽再生型低温泵，包括冷泵壳体、一级冷头和二级冷头和制冷机，一级冷头安装在冷泵壳体内，二级冷头安装在一级冷头内，冷泵壳体外安装有与其内连通的过渡筒，制冷机安装在过渡筒上，制冷机的冷头通过过渡筒伸入到冷泵壳体内并同时与一级冷头和二级冷头连接；过渡筒上安装有给其内腔加热的加热件；一级冷头顶端与冷泵壳体的泵口之间设有预抽腔体，预抽腔体的侧壁上安装有与其连通的预抽接头。

传统的低温泵在DN400口径及以上尺寸的低温泵多采用过渡筒转接的形式来安装GM制冷机，在再生过程中，大量水分子液化后流入过渡筒内堆积无法排出，且堆积后水分子与腔室气体空间接触面过小，再生抽气对该部分的水无法形成有效抽速，很难排空。

本实用新型针对低温泵过渡筒水不易排空，进行结构优化。在容易积水的过渡筒上安装外置的加热件，可用通过温控系统，使其在再生过程，保持60℃到100℃；提高其饱和蒸气压，如此，水分子不易液化直接汽化后，被预抽泵抽走。