[实用新型]翘曲校正装置及检测设备

权利要求书

1.一种翘曲校正装置，其特征在于，包括：

按压件，所述按压件包括：

按压部，所述按压部设有吹气单元；及

设于所述按压部的第一密封圈，所述第一密封圈环绕所述吹气单元，用于与工件接触，并与工件及所述按压部共同形成密封空间；

其中，通过所述吹气单元能够朝所述密封空间吹气，以降低所述工件的翘曲程度。

2.根据权利要求1所述的翘曲校正装置，其特征在于，所述吹气单元包括贯穿的气孔，所述气孔与所述密封空间相通，并用于供气体通过以进入所述密封空间内。

3.根据权利要求2所述的翘曲校正装置，其特征在于，所述气孔为多个，多个所述气孔围绕所述按压部的中心呈至少一个环形分布，同一个环形的多个所述气孔共用同一个气路。

4.根据权利要求3所述的翘曲校正装置，其特征在于，所述翘曲校正装置还包括连接头，所述连接头安装于所述气孔并与所述第一密封圈分别位于所述按压部的相背两侧，安装于同一环形的多个所述气孔的多个所述连接头经气管串联形成一个所述气路。

5.根据权利要求1所述的翘曲校正装置，其特征在于，所述工件包括检测区域和非检测区域，所述第一密封圈与所述非检测区域接触，所述检测区域与所述按压件形成所述密封空间。

6.根据权利要求1所述的翘曲校正装置，其特征在于，所述按压件还包括安装部，所述翘曲校正装置还包括移动组件，所述移动组件与所述安装部连接，所述移动组件用于带动所述按压件运动，以使所述第一密封圈与所述工件接触或断开所述第一密封圈与所述工件之间的接触。

7.根据权利要求6所述的翘曲校正装置，其特征在于，

所述安装部与所述按压部齐平；或

所述安装部低于所述按压部；或

所述安装部高于所述按压部。

8.根据权利要求1所述的翘曲校正装置，其特征在于，所述按压件还包括设于所述按压部的第二密封圈，所述第二密封圈与所述第一密封圈位于所述按压部的同侧并共中心，所述第二密封圈的直径小于所述第一密封圈的直径。

9.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括：

权利要求1-8任意一项所述的翘曲校正装置；及

承载装置，所述承载装置用于承载工件。

10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置包括吸附件，所述吸附件用于吸附所述工件，所述吸附件对应所述第一密封圈设置有第一密封件，所述第一密封件的中心线与所述第一密封圈的中心线重合，且所述第一密封件与所述第一密封圈的直径相同。