[实用新型]一种用于半导体生产的大理石平台

权利要求书

1.一种用于半导体生产的大理石平台，包括底板(2)、立柱(3)、大理石平台(4)、支撑柱(7)、动力气缸(12)、侧板(14)、检修门(15)和控制面板(20)，其特征在于：所述底板(2)的上表面四周中间位置对称分布有四个立柱(3)，四个立柱(3)之间通过侧板(14)固定在一起，所述立柱(3)的上端均固定有限位块(23)，所述大理石平台(4)通过限位槽(22)固定在立柱(3)的限位块(23)上，所述底座(5)的下表面中心位置设有固定块A(6)，所述固定块A(6)的下端中心位置固定有支撑柱(7)，所述支撑柱(7)的底部中心位置固定在动力气缸(12)上端的伸缩杆(11)上，所述支撑柱(7)的下端四周对称固定有两个滑杆A(10)和两个滑杆B(25)，所述动力气缸(12)的底部固定有垫块(13)，所述垫块(13)通过螺栓固的在底板(2)的上表面中心位置，所述动力气缸(12)通过电源线(24)与底板(2)前端侧板(14)上的控制面板(20)连接在一起。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于：所述底板(2)的底部对称安装有九个支撑块(1)，其中六个支撑块(1)对称分布在底板(2)的两侧，另外三个支撑块(1)分布在底板(2)下表面的中心轴线上。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于：所述大理石平台(4)的下端通过限位扣(8)固定在底座(5)上，所述底座(5)的下表面与四个立柱(3)位置相对应处设有固定块B(21)，所述固定块B(21)的底部中心位置开设有限位槽(22)。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于：所述滑杆A(10)和滑杆B(25)之间间隔分布，且滑杆A(10)和滑杆B(25)之间呈90度夹角，所述滑杆A(10)的另一端对称固定在底板(2)左右两端立柱(3)的滑槽(9)内，所述滑杆B(25)的另一端对称固定在底板(2)前后两端立柱(3)的滑槽(9)内。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于：所述控制面板(20)固定在侧板(14)的内部一侧靠近上方位置，所述控制面板(20)的内部靠近上方位置内嵌固定有显示屏(18)，所述显示屏(18)的外侧设有功能按键(19)。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产的大理石平台，其特征在于：所述侧板(14)的内部另一侧通过合页固定有检修门(15)，所述检修门(15)的外表面中心位置通过螺钉固定有把手(16)，所述把手(16)的下方安装有防护锁(17)。