[实用新型]压电驱动器及纳米位移台

权利要求书

1.一种压电驱动器，其特征在于，包括柔性惯性体及压电陶瓷，所述柔性惯性体包括底座、纵梁、安装座、柔性块、横梁及桥板；所述纵梁设置在所述底座上，所述安装座与所述纵梁连接，且所述安装座能够相对所述底座摆动；所述安装座上设有装配腔，所述柔性块及所述压电陶瓷设于所述装配腔内，且所述柔性块与所述压电陶瓷相接；所述横梁设置在所述柔性块的顶部上，所述桥板与所述横梁连接，且所述桥板能够相对所述柔性块摆动。

2.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述纵梁的长度延伸方向与所述横梁的长度延伸方向垂直。

3.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述安装座底部的一端与所述纵梁连接，所述柔性块位于所述安装座远离所述纵梁的一端。

4.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述横梁设于所述桥板及所述柔性块的中间位置上。

5.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，还包括设置在所述安装座上的预压件，所述预压件顶压在所述柔性块背离所述压电陶瓷的一侧上。

6.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述柔性块开设有容纳腔，所述容纳腔内设置有弹性件，所述弹性件的一端与所述容纳腔的顶壁连接，通过所述弹性件发生弹性形变对所述桥板输出预设的预紧力。

7.根据权利要求6所述的压电驱动器，其特征在于，还包括设置在所述安装座上的预紧件，所述预紧件顶压在所述弹性件的底部上，以使所述弹性件发生弹性形变。

8.根据权利要求6所述的压电驱动器，其特征在于，所述弹性件为弓形弹簧、空心弹性体或实心弹性体。

9.一种纳米位移台，其特征在于，包括基体、滑台、摩擦组件及如权利要求1-8任意一项所述的压电驱动器；所述压电驱动器设置在所述基体上，所述滑台活动设置在所述基体上，所述摩擦组件包括第一摩擦片及第二摩擦片，所述第一摩擦片设置在所述桥板上，所述第二摩擦片设置在所述滑台上，所述第二摩擦片与所述第一摩擦片之间摩擦接触。

10.根据权利要求9所述的纳米位移台，其特征在于，还包括两个第一导轨及两个第二导轨，所述第一导轨设置在所述基体上，所述第二导轨设置在所述滑台上，两个所述第一导轨位于两个所述第二导轨之间，且两个所述第二导轨分别与两个所述第一导轨一一对应滑动接触。